原文由 jeansruler 发表:
1)为什么检测的二次电子只是在表层10nm范围内产生的呢?是不是因为它们的能量较低,再深入的位置里产生的二次电子不能够逸出表面呢?
笼统的讲:只有这部分低能量的(<50eV)电子才恰恰真正能够表达出样品的表面(10nm)形貌称之为2次电子。
2)我原来认为检测到的背散射电子是在样品表面就被散射回去的一次电子,是不是理解错了?因为从楼上给出的详细图文中,似乎一次电子还在材料内部10nm到1-2um的区域穿梭,然后再散射出表面,被背散射检测器接收。是这样的吗?
被散射回去的一次电子占主要部分。
3)从楼上的图中,我理解EDX表征的是一次X-ray发射区域,也即是材料表面 1-3um厚度之间,水平距离约2-3um长的这么一个范围。我的理解对吗?
不同加速电压,不同样品材质,入射角,电子束或者X射线束斑直径等等很多都会影响到X射线的“发射”区域。
等同于一个胖子从4楼掉下来在地上砸了一个坑(发射区域),和一个更胖的胖子从10楼掉下来,砸得坑大小深度是不一样的,不信可以找两个胖子试试!(本人声明对此产生后果不付任何法律责任!)![]()
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以上个人看法,希望大虾拍转!![]()
原文由 jeansruler 发表:
非常感谢楼上的回复。我只有一个简略的梨形图,现在终于有了更详细的内容。我尝试理解清楚这个图形的目的是想回答一个问题:当我用EDX测试元素分布不均匀的样品时(比如头发表层的有机物吸附等),得出的Wt%到底是哪个区域的结果?
对于该图我还是有一些疑惑,请楼上的行家帮忙解答:
1)为什么检测的二次电子只是在表层10nm范围内产生的呢?是不是因为它们的能量较低,再深入的位置里产生的二次电子不能够逸出表面呢?
正确
2)我原来认为检测到的背散射电子是在样品表面就被散射回去的一次电子,是不是理解错了?因为从楼上给出的详细图文中,似乎一次电子还在材料内部10nm到1-2um的区域穿梭,然后再散射出表面,被背散射检测器接收。是这样的吗?
你以前的理解是不对的,图中看到背散射电子的区域其实比二次电子更深
3)从楼上的图中,我理解EDX表征的是一次X-ray发射区域,也即是材料表面 1-3um厚度之间,水平距离约2-3um长的这么一个范围。我的理解对吗?
Xray的激发区域和材料材质,加速电压等都有关系,激发体积并不固定,可以通过蒙特卡洛来模拟,改天上个公式给你,今天没来得及找。
如果楼上的行家有该图相关的文字说明,还请麻烦你附上来让我仔细拜读,非常感谢!