主题:进行氦质谱检漏时为何要先充入高纯度的氮气?

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axe
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对于质谱检漏,我是外行。我看到我们车间在进行氦质谱检漏时总是先充入高纯度的氦气至10MPa,然后有将它们放出,这是为什么呢?
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