3 分辨率、强度和对比度
对LEEM图像而言,有三个因素十分重要,即分辨率、强度和对比度。下面分别加以讨论。
3.1 分辨率
从理论上讲,LEEM分辨率主要由阴极物镜决定,特别是它的加速区域.根据简单的几何光学近似[10],分辨率可表示为
其中ΔV为成像电子束的能量宽度,eV为电子束能量电位,V的单位为伏特,F为样品位置的电场强度,其单位为V/m、对于15eV的电子束,如果其能量宽度是0.5eV,且F=107V m-1,则可获得约5nm的横向分辨,由理论上推断,通过改进V,ΔV,F等能进一步提高LEEM的分辨率,但实际上由于电子束强度和高压稳定性等原因,优于3nm的分辨率已很难达到,而且成像透镜等造成的色差和球差也限制了实际的分辨率[7,8,11]。
3.2 图像强度
LEEM像强度由入射到样品的电子束强度和样品原子背散射截面等因素决定,因而与电子束能量有密切关系[7,12]。一般能量越低强度越大。