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原文由 saintchen 发表:
一般，机械泵称为一级泵，真空度大概在10－2Pa左右；
分子泵，扩散泵称为二级泵，真空度大概在10－4Pa左右；
离子泵成为三级泵，真空度可达10－8Pa。
正如您所说，先得机械泵工作，达到一定真空度后，二级泵工作，达到一定真空度后，三级泵才开始工作。
工作顺序 说得不错， 但 真空度说错了， 机械泵 可以达到 10E-003MBAR 或TORR， 不是PA， 分子泵可以轻易达到 10E-006MBAR甚至10E-007， 离子泵可以达到 10E-010MBAR。
还有， 分子泵 是可以从大气直接工作的， 但转速 很低， 达不到 高真空，一般真空系统的设计是 分子泵 转速达到 50%到 80%的时候， 高真空表 PENNING才开始 读数。
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