各位大虾,现在遇到一件CASE,S3000H的机台,系统是NT的,搭配的能谱是EDAX,目前的状况是HV on,无影像,整个画面都是黑的.Emission Current 为50uA.将movable aperture拉至0号孔,执行AGA没有效果.执行ABC无效果,而且手动调整Brightness,界面还是黑的,没有变化.但是此时做能谱分析的话,可以正常使用,打出元素出来,说明电子束有打到样品上.因为客户离我们比较远,无法马上赶过去,因此想先向各位请教一下,下一步的动作方向.不知各位有何高见,指点指点