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ID:hank_xu
行业:其他
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ID:sunny2000
ID:zhp5238
ID:renxin
原文由 zhp5238 发表:应该是FIB和SEM的区别吧,简单的来说可以理解为入射束不同,FIB是ION BEAM,SEM是ELECTRON BEAM,前者分辨率会低很多,主要用来给TEM做样品制作,以及一些超薄样品的制作,以及半导体晶圆生产中的特殊应用.