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主题：【求助】请教各位怎样拍出大角度的SEM图（附图）

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wallance29
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发表于：2010/01/20 14:43:18 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我在光刻胶上做了个微透镜阵列，想用SEM拍出来，可是拍的全是俯视的图，把样品台旋转了很大的角度还是俯视图，不知道怎么回事，所以请教各位！

我想照出斜视的图，例如下面

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2010/1/20 17:03:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wallance29(wallance29) 发表:
我在光刻胶上做了个微透镜阵列，想用SEM拍出来，可是拍的全是俯视的图，把样品台旋转了很大的角度还是俯视图，不知道怎么回事，所以请教各位！

我想照出斜视的图，例如下面



你样品是平着放着的吗？那样旋转样品台是不行的，要倾斜样品台才能得到这种效果，或者把样品粘在一个倾斜的样品托上看。
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wallance29
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2010/1/20 20:22:34 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的样品是粘在一个倾斜的样品托，不过倾斜的角度不大，然后也尝试过倾斜样品台，可看起来还是垂直的俯视图。。。。
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驰奔
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2010/1/20 20:53:59 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wallance29(wallance29) 发表:
我的样品是粘在一个倾斜的样品托，不过倾斜的角度不大，然后也尝试过倾斜样品台，可看起来还是垂直的俯视图。。。。

我推测b图的样品倾斜角度大约是  75°以上，图片应该不是楼主照的！
如果透镜俯视是圆形的，那么倾斜后投影应该是椭圆形，根据长短轴比例可计算出倾斜角度！
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2010/1/21 8:18:49 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主如果要照出倾斜效果，肯定要倾斜样品台的，样品台倾斜是有一定方向性的，可能必要的话，要保持和样品托倾斜一致。可以多尝试几次。楼主一定要注意工作距离和Z轴，小心别让样品撞到上面的背散射探头。
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驰奔
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2010/1/21 9:31:08 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果你不想倾斜样品台，就用倾斜补偿，从数学角度直接变换图形投影！
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fengyonghe
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2010/1/21 11:12:37 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
如果你不想倾斜样品台，就用倾斜补偿，从数学角度直接变换图形投影！

这种变换的效果是椭圆形的正视图。还是要大角度倾斜辅以动态聚焦。
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2010/1/21 12:49:04 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
取消倾斜补偿，应该能看出倾斜的效果。说明你的镜子倾斜校正功能还是不错的嘛。呵呵
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fengyonghe
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2010/1/21 19:27:48 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wallance29(wallance29) 发表:
我的样品是粘在一个倾斜的样品托，不过倾斜的角度不大，然后也尝试过倾斜样品台，可看起来还是垂直的俯视图。。。。

是否关闭了倾斜补偿！
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Last edit by fengyonghe
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2010/1/21 21:59:20 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感谢各位好心人，我会去再试试的，我用的是Oxford instruments的产品
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毒菇九剑
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2010/1/22 12:56:15 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
倾斜校正是SEM软件的设置，跟Oxford Instruments没啥关系
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手机版： 【求助】请教各位怎样拍出大角度的SEM图（附图）
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