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主题：【求助】SEM采集条件的几个问题

浏览0 回复6 电梯直达

rainflying666

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发表于：2010/10/25 16:11:26 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请教各位大侠：

1） SEM采集条件中试样电流和电子束直径是一个概念吗，是同一个参数来设置吗？是不是所说的spotsize
2） W灯丝电流设置的大小对采集图像有没有什么影响呢？具体影响是什么？它和试样电流是不是一个概念呢？

谢谢大家！盼回答！

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2010/10/26 9:04:54 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

怎么没人回答呢

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fengyonghe

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2010/10/27 23:20:42 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 rainflying666(rainflying666) 发表:
请教各位大侠：

1） SEM采集条件中试样电流和电子束直径是一个概念吗，是同一个参数来设置吗？是不是所说的spotsize
2） W灯丝电流设置的大小对采集图像有没有什么影响呢？具体影响是什么？它和试样电流是不是一个概念呢？

谢谢大家！盼回答！

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2010/10/28 13:14:15 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

问题1 电子束直径也称束斑直径，是由阳极到试样表面电子束的直径，也就是spotsize。样品电流是电子束在样品中产生各种信号之后剩余的电子（还是可以利用的）经样品入地的电流。
问题2 W灯丝电流是不可以设置的，只能调节到欠饱和。W灯丝电流是流过钨丝的电流，正像流过白炽灯钨丝的电流一样。和样品电流没有关系。

1.那这个样品电流可以测试吗？或者说有哪个参数可以表示？另外它对测试样品的图像质量有没有什么影响？
2. W灯丝电流不可以设置啊？为什么我们这个上面有显示W灯丝电流值呢？而且我们还可以手动调节的。我们用的是日本电子6390的。有个叫LC值的，我们一般叫灯丝电流，而且最近我们的灯丝电流经常不稳定，所以才会问对样品图像有没有什么影响？怎么会没有灯丝电流呢？

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fengyonghe

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2010/10/28 21:39:16 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

回复3#1. 样品电流可以测，下面的图是以往别人发过的。对图像质量是控制束流。2。灯丝电流是加热灯丝用的电流，有显示也可以调节。只有在换灯丝后调节到欠饱和。之后不可以随便调节。灯丝使用一段时间之后，灯丝变细，灯丝电流需要调小些，这时重新调节到欠饱和。所以灯丝电流是不可以随便调节的。灯丝电流不稳定，束流就会不稳定，亮度也不稳定。原因之一是灯丝电流没有调节到欠饱和。