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主题：【求助】SEM的能谱能准确测微晶硅薄膜中的氢、氧含量吗？

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kongkongdao
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发表于：2006/09/14 11:32:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM的能谱能准确测微晶硅薄膜中的氢、氧含量吗？
请前辈指教
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2006/9/14 12:10:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
肯定不行，轻元素是EDS的大敌。
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renxin
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2006/9/14 14:59:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 kongkongdao 发表:
SEM的能谱能准确测微晶硅薄膜中的氢、氧含量吗？
请前辈指教

只能作 氧的定性， 不能定量。
氢是无能为力的， 建议求助于化学方法。
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hangk2006
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2006/9/23 9:47:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
能谱对氢基本上无能为力
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R.F.L.
leeeds
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2006/9/25 14:10:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有些能谱 据说可以测到Be, H肯定是没戏。

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skyhunter
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2006/9/26 15:47:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是的，氢是无法测量的，氧应该还可以
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qianshuiyizu
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2006/9/27 13:25:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
超薄窗口可以从Be开始，只能定性分析。
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jzhx68
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2006/9/30 13:59:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氢核外只有一个电子，不可能产生电子的跃迁，所以没有X光子产生，不能进行能谱分析。
氧是轻元素，只能进行定性分析，虽然很多能谱软件都有轻元素的校准软件，但结果也是自己知道。
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wzhgp
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2006/12/9 13:41:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
7楼的说得对。
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wzhgp
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2006/12/9 13:44:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
7楼的说得对。
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