主题:【求助】钨涂层成分的化学分析方法

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flch
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请问各位,等离子喷涂涂层(固体)中杂质含量(特别是氧和碳的含量)怎么个测试方法。用EDS,XPS等的话,测到的是表面的,不知内部的怎么测量,如果能用化学方法更好,请指点!
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