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主题：【求助】薄膜样品，想测试：成分含量-深度分布的曲线，该用什么技术呢？谢谢~~

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wyytg
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发表于：2008/12/19 11:47:18 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
结构是两层膜，上层是金属，厚100nm；下层是硅，厚400um。
想知道从顶层起到深度1um范围内的元素成分种类、含量随深度变化的曲线。

用什么样的测试技术呢？希望指点。
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2008/12/19 18:46:06 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你是要做什么元素?估计很难做.
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wyytg
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2008/12/19 21:45:17 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
测得元素有Si O P C Au
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liugw123450
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2009/8/12 14:25:17 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果感兴趣可跟我联系 gwliu@honoprof.com
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kikiaa
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2009/8/14 8:58:47 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wyytg 发表:
结构是两层膜，上层是金属，厚100nm；下层是硅，厚400um。
想知道从顶层起到深度1um范围内的元素成分种类、含量随深度变化的曲线。

用什么样的测试技术呢？希望指点。

原文由 wyytg 发表:
测得元素有Si O P C Au

O是什么?氧???打错吧?
Si,P,C,Au这都常做的元素...
你要做深度变化曲线,估计仪器很难做..
手工分析看看吧..上层金属钻样,ICP分析Si,P,Cu,然后C用碳硫仪分析...
..
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Last edit by kikiaa
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