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主题：【原创】我想拍有一定倾斜角的SEM怎么做啊？

浏览0 回复16 电梯直达
icwafer
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发表于：2007/04/05 09:13:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我想拍有一定倾斜角的SEM怎么做啊？

我想拍有一定倾斜角的SEM怎么做啊？如图所示，
我照的都是垂直于断面。
谢谢回答@@@

我们这里没有场发射类型，而且倾斜的也做过，可是表面形貌不清晰。唉

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shxie
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2007/4/5 20:19:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
两种方法：
1.倾转样品台
2.把试样粘在一个倾斜的台子上，直接看截面。
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qianshuiyizu
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2007/4/16 14:02:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1。转动旋转台，使其倾斜。
2。自己铣一个有斜面的样品台。
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rainyweek
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2007/4/29 19:42:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
直接用导电胶将样品贴成一个斜面就好了，主要是调焦时注意景深的问题当屏幕扫图从上扫到下时，手动跟进焦距的调节，效果不错的
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frankchen009
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2007/5/5 3:27:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的样品的stage是不是可以tile呢？
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l_feier
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2007/6/19 15:07:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
手动跟进调焦？
听起来有点困难，
怎么做的，能不能具体的讲一下
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waha2008
waha2008
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2007/6/19 15:10:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用橡皮泥好啦
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bossvip
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2007/6/21 15:49:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1。倾斜样品台
2使用beamshift,使电子束偏转一定角度（很微小）
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redskinworm
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2007/8/2 11:02:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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zemb
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2007/8/2 13:42:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好像有人要这个使用指南。^_^，自己把帖子顶一下
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Last edit by zemb
huangtao0307
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2007/10/14 19:46:00 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有个倾斜旋扭啊
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