原文由 RENXIN 发表:
原文由 zemb 发表:
SEM 配备的背散射电子探测器有半导体的、闪烁体+光电倍增管的、4Q BSD的、鲁宾逊的、YAG的、人马座......
请大师们指点一下这些探测器的特点,及如何选配。
半导体的和4QBSD的是一回事,用的是硅片。
闪烁体的和鲁宾逊的和人马座的还有YAG的是一个类型。
所以说背散射检测器只有两种,固体式(半导体式)和闪烁体式的。
使用硅片的半导体式或固体是背散射探头原理很简单,所以对高能电子很敏感,所以在重元素应用中很适合。对轻元素就不是很适合。不过轻元素加高加速电压可以在一定意义上弥补。
闪烁体是固定在光导管前端的,一般是将P47磷粉镀在玻璃导管上,这也就是最早的闪烁体式探头。学名叫EVERHART THORLEY探头。优点是探头寿命长,缺点是更换闪烁体必须同时更换光导管。
YAG或是YAP式的闪烁体就解决了以上问题。
YAG和YAP是较为复杂的化合物,可以被制成圆薄片状,安装在光导管前端,更换简单。
由于YAG或YAP的属性,对电子的敏感度大大地加强,导致信号在噪音中一跃而出,采集效率一下子增强了至少三倍。
底端SEM一般采用P47式闪烁体,高端的同时采用P47的或YAG的甚至YAP的,适用于不同应用。