主题：【求助】关于SEM的消象散问题

原文由 jiekexun1018 发表:
小弟初学SEM，机器是日立S-34OON。最近不小心转乱了调象散的旋钮。
我试了机器的自动调试功能，只能在低倍下可以用，高倍的时候图像很模糊（如5K）
还试了对照直方图调，也不行。
还试了X,Y数值一点一点的调整，还是没什么进展。
最后在condition save里无意发现别人保存的一个condition, 我load一下，发现清晰很多，在7k下基本可以看清，但是更高倍数下就是模糊。
请教一个方法，现在机器就我自己用，调不好，自己受苦。
另外，我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同，我的设置分别是7和87，LOAD CONDITION是2和82，后来我干脆改成3和78，感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗？请大侠不惜指教，万分感谢。

原文由 jiekexun1018 发表:
小弟初学SEM，机器是日立S-34OON。最近不小心转乱了调象散的旋钮。
我试了机器的自动调试功能，只能在低倍下可以用，高倍的时候图像很模糊（如5K）
还试了对照直方图调，也不行。
还试了X,Y数值一点一点的调整，还是没什么进展。
最后在condition save里无意发现别人保存的一个condition, 我load一下，发现清晰很多，在7k下基本可以看清，但是更高倍数下就是模糊。
请教一个方法，现在机器就我自己用，调不好，自己受苦。
另外，我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同，我的设置分别是7和87，LOAD CONDITION是2和82，后来我干脆改成3和78，感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗？请大侠不惜指教，万分感谢。

原文由 srd2009 发表:
考虑清洗镜筒吧。
请问楼主，你们电镜买了多长时间了，没有清洗过吗？据我所知S-3400价格不菲，要充分发挥其效能呀！

原文由 srd2009 发表:

原文由 jiekexun1018 发表:
小弟初学SEM，机器是日立S-34OON。最近不小心转乱了调象散的旋钮。
我试了机器的自动调试功能，只能在低倍下可以用，高倍的时候图像很模糊（如5K）
还试了对照直方图调，也不行。
还试了X,Y数值一点一点的调整，还是没什么进展。
最后在condition save里无意发现别人保存的一个condition, 我load一下，发现清晰很多，在7k下基本可以看清，但是更高倍数下就是模糊。
请教一个方法，现在机器就我自己用，调不好，自己受苦。
另外，我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同，我的设置分别是7和87，LOAD CONDITION是2和82，后来我干脆改成3和78，感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗？请大侠不惜指教，万分感谢。

像散是磁透镜磁场的中心轴不对称造成的，从一个园光斑发出的电子经过该磁透镜后聚焦不是一个园光斑，而是十字方向拉长的椭圆斑。造成最终束斑尺寸加大，影想图像清晰度。
一般只物镜带有有消像散器，用于消除物镜附近污染所致的静电场干扰，
但像散还存在于聚光镜，还有整个镜筒污染造成的静电场对电子束的干扰，影响光源的对中，这种不能用电器消除的干扰，最后只能采用清晰镜筒的办法来消除。其次除了物镜以外的干扰和加速电压也有关系，加速电压越低干扰越明显，图像质量越差。

楼主改变的参数电子枪偏压电阻、电对中，在一定程度上消除了电子枪和镜筒污染造成的干扰

原文由 fengyonghe 发表:

不知你的X,Y在面板的那个位置，如果在电子枪控制单元X,Y控制电子束的平移，如果在聚焦单元控制的是象散。