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主题：【原创】Low Power低能SEM 图像较差原因查询

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wbslandy
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发表于：2007/07/10 22:16:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的JSM-6700F SEM 现在的Low Power 低能0.5KV 效果较差, 我们公司在香港有一台同样型号的SEM, 它的低能效果比我们好多了, 微小的差别就是香港的JSM-6700F 配了个LN2液氮杜瓦罐, 另外香港的二级真空泵是油扩散泵,我们的是涡轮分子泵.
为了排除我们这边工程师操作的个人因素, 我们让香港那边的工程师过来调了3个多小时也调不出理想的效果.
附图为HK SEM 低能图片, 我们的图片与之相比显得图像质量较粗糙,可能是信/噪比过大 或者是其他原因?
请大侠们指教一二.
谢谢.
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2007/7/10 22:20:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2010/11/4 21:57:49 Last edit by wbslandy
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2007/7/10 22:45:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般来讲样品在观测时会受到污染，表面会形成一层污染膜，高加速电压下看不到，但低加速电压下可以观测很浅层的图像，正好可以观测到，会显得图像模糊，冷阱可以吸附污染，减小对样品的影响，观测效果应该更好
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jeolzxj
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2007/7/12 22:08:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2007/7/13 20:25:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们叫JEOL工程师来看了, 开始他也象上面兄弟说的那样,说是我们没装冷阱,要我们买冷阱, 我就问他冷阱要花不少银子,万一我们真买买回来了, 他能不能确保更好的低能效果, 他说can not be sure.
于是我就叫香港那边的同型号的做对比试验, 冷阱分别不装和装液氮, 结果做出来的效果没什么明显的差别.我把结果Send给他看,他又改口说是我们的OL/aperture被污染了,让他换aperture, 还不行, 又检查OL物镜, 说物镜上又Particle, 又用吸尘器吸, 吸不掉,接着松物镜上的螺丝,结果把物镜上一个很小的固定螺丝松过头,掉下来飞了.测物镜与外圈的绝缘电阻只有100多欧姆(应该是无穷大才对),这样折腾了四天还没搞定, 我都急死了, 他又说要把北京那边JEOL办事处的工程师叫来一起, 要把整个物镜上面的所有DD吊起来清理整个电子光学系统, 说至少要三四天. 真郁闷!
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2007/7/14 21:25:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还是给两张对比照片吧，同样的样品，同样的参数，看看有啥差别，对你的遭遇，只能同情中
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RENXIN
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2007/7/16 18:07:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 semuser 发表:
还是给两张对比照片吧，同样的样品，同样的参数，看看有啥差别，对你的遭遇，只能同情中

经典问题，顶置大家帮忙。
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2007/7/16 23:12:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感谢semuser和RENXIN大侠的友情置顶.
我将尽快于明天晚上把w/o LN2 Dewar的对比结果发上来.
我们需要好的低能效果的目的主要就是看硬盘磁头表面约2~4nm厚的类金刚石DLC膜与硬盘碟碰撞有无磨损(wearing), 附图右边的ESCA测得的是左图沿绿线方向的DLC膜厚度分布, 可看出附图左边所示的发白部位DLC被磨薄了.
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2007/7/16 23:37:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
上面附图右边的ESCA结果Y轴的单位是Angstrom,
我们的目标很浅,所以SEM用在检查wearing 状况只能用低能.
根据以前的经验, 用低能时的信号很弱, 信噪ratio比较大,不知各位有什么好的方法使图像看起来更饱满.当然我也尝试过加大Emitter发射电流和样品电流, 效果确实要好一点, 但仍达不到我们香港一台SEM的低能效果. 而且我们在做其他样品时还要把两个电流调回Normal状态, 这样反复在大电流和相对小的电流之间转换很容易使光阑Aperture受污染(受污染的原因可能是大电流很容易使样品表面的C.O.H等吸附物碳化,微小的碳化物粉尘很容易飞到Aperture上).
请大侠们给点Comments.谢谢.
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2007/7/17 19:37:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
附图上面一行的两个图是无液氮的效果,
下面一行是有液氮的效果.
看起来没有明显的差别.
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2010/11/4 22:06:52 Last edit by wbslandy
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2007/7/19 21:30:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大侠们都很忙, 自己给自己顶一个!
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