原文由 xj_guhong 发表:
多谢各位的回复!
我的薄膜的厚度只有1.5纳米,非常的薄,所以一直使用SiNi探针,力常熟是0.01~0.05 N/m。
曾经尝试过用低浓度的HF腐蚀针尖,效果并不理想,针尖的形状变得很奇怪。
后来也用过末端修饰有1um颗粒的探针,由于接触面积大,颗粒和薄膜之间吸引力很强,也容易把薄膜撕破。
至于扫描其他样品,把针尖弄得钝一些,我也试过,可能是因为cantilever比较软,用最大的速度扫描SiNi表面,针尖也没有什么变化。
你们看还有什么方法,或者我哪里做的不妥当,可以改进的。