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扫描探针显微镜SPM/AFM

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主题：【讨论】闭环扫描的概念

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liphking

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发表于：2007/10/28 15:44:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

在很多AFM介绍中看到闭环扫描的概念，感觉非常奇怪，闭环在这里是指得什么意思呢？难道还有开环的AFM不成？

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2007/10/29 8:36:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

论坛里曾经讨论过,请参考.还需要号称用闭环扫描的高手详细介绍一下!
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20070622/884800/

原文由 liphking 发表:
在很多AFM介绍中看到闭环扫描的概念，感觉非常奇怪，闭环在这里是指得什么意思呢？难道还有开环的AFM不成？

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2007/10/29 14:40:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 ssh110 发表:
论坛里曾经讨论过,请参考.还需要号称用闭环扫描的高手详细介绍一下!
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20070622/884800/
原文由 liphking 发表:
在很多AFM介绍中看到闭环扫描的概念，感觉非常奇怪，闭环在这里是指得什么意思呢？难道还有开环的AFM不成？

太谢谢了，这个问题困扰我好久了

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2007/10/29 14:54:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 ssh110 发表:
论坛里曾经讨论过,请参考.还需要号称用闭环扫描的高手详细介绍一下!
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20070622/884800/
原文由 liphking 发表:
在很多AFM介绍中看到闭环扫描的概念，感觉非常奇怪，闭环在这里是指得什么意思呢？难道还有开环的AFM不成？

失望，那里根本没有把闭环的概念给讨论清楚，只有一些广告词模样的东西。兴许这个问题太尖端了吧。

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2007/11/15 17:55:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我在这里简单的介绍一下吧：
第一，闭环在这里是指得什么意思呢？难道还有开环的AFM不成？
有闭环，当就就有开环，我们用的普通的AFM就是开环的。

所谓开环和闭环的区别，主要在于有没有精密位移传感器，
而精密位移传感器的作用就是实时的探测扫描器在各个方向上的位移量。
其目的是消除扫描器由于压电特性（如回滞性，蠕变性等）所造成的非线性问题。

对于开环系统，解决压电扫描器的非线性问题的主要方法是通过前馈算法来实现的。即事先测量出扫描器的非线性特性，然后通过各种算法来使扫描器的位移与时间呈线性关系，从而消除由于非线性问题所造成的图像畸变与失真。
正因为是通过各种算法来校正的，所以其中还会存在各种各样的问题，比较严重的有：
1.扫描器的蠕变性，经常导致扫描图像的起始部分出现扭曲；
2.无法精确定位,开环扫描器无法完成精确的纳米刻蚀和纳米操纵功能。

如果能实时的探测扫描器在各个时刻的位移量，就可以通过反馈来添加补偿电压控制扫描器的精确位移。从而有效消除非线性。
位移传感器-》反馈调节-》扫描器-》位移传感器形成了一个封闭的环路，所以也叫闭环系统。在扫描过程中，通过反馈来调节扫描器的Z向，实际上也是一个闭环系统。

位移传感器的类型有很多种，用得比较多的有（我所知道的）：
例如：激光传感器，多用于各种平板式扫描器中，
电容传感器，单管式扫描器中基本上都是采用电容传感器的，因其容易集成，结构紧凑。

如有不明白的地方，请邮件联系：hlj@inano.net

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在很多AFM介绍中看到闭环扫描的概念，感觉非常奇怪，闭环在这里是指得什么意思呢？难道还有开环的AFM不成？

失望，那里根本没有把闭环的概念给讨论清楚，只有一些广告词模样的东西。兴许这个问题太尖端了吧。