个人认为,用AFM测量膜厚不外乎有三种方法:
1.从截面进行测量,利用光学系统将针尖定位在界面附近,然后进行扫描。
这需要做镶嵌样,将样品镶嵌在树脂中,然后磨平,进行扫描。
利用相位成像技术,能区分出衬底,膜和树脂。
这种方法制样比较复杂,结果不大可靠。
2.做台阶样品,即让膜在衬底上部分生长,这样就可以在衬底上形成一个膜的台阶,利用光学系统将针尖定位在台阶附近,进行扫描即可。
这种测量方法最为准确,且样品制备也相对简单。
只需在膜的制备过程中,将衬底的一部分区域保护起来,不让膜形成即可。
3.对于一些比较软,且厚度较小(几纳米到几十纳米)的样品而言。
可以用刻蚀的方法,用针尖在样品上刻蚀出一个衬底与膜的界面,
即把膜划穿,露出衬底。然后扫描这个界面即可。
这种方法,适用范围较窄,且测量结果也缺乏准确性。
原文由 zwf55555 发表:
表面形貌就测过,膜厚未曾做,技巧如何?