1.电压值是否是指扫描器Z向的电压值?如果是的话,基本上是由于下针时Feedback Gain太大所造成的振荡。减小Gain就会稳定的。
2.成像不清楚,下针时就有振荡,如果不调节Feedback Gain当然无法稳定清晰成像了。
3.压力陶瓷?应该是压电陶瓷或压电扫描器。损坏的可能性不大。关于如何检测损坏与否,请参看相关帖子:
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20080116/1138119/
原文由 lily4587 发表:
tip逼近表面过程中,电压值不能一直减小,反复变化。而且扫描时,探针成像不清楚。换了新的针尖也不行。是不是压力陶瓷坏了?