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主题：【求助】使用EFM时出现问题

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guolinhao
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发表于：2010/01/21 20:21:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
做EFM时加正的偏压和负的偏压时phase
图像有什么不同啊 请高手指点 我测的时候怎么没什么变化啊 这样影响结果吗我用的是Seiko的SPM
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2010/1/22 15:27:32 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
做EFM时，如果偏压反相，Phase图像不变，则说明Phase是形貌的耦合，不是静电力的变化产生，
抬起高度太低，针尖碰到样品表面时会出现这种情况，这时Phase图像和普通相位成像没有区别。

正常EFM成像的时候，偏压反相，EFM图像会反相，和形貌耦合的Phase图像则不会变化。

原文由 guolinhao(guolinhao) 发表:
做EFM时加正的偏压和负的偏压时phase
图像有什么不同啊 请高手指点 我测的时候怎么没什么变化啊 这样影响结果吗我用的是Seiko的SPM
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2010/5/8 15:01:14 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢 我想问一下 我最近利用日本精工的SPM做刻蚀，想在我们的样品上刻蚀一条线出来，结果却只刻蚀出了几个点，电压加的已经是最高了，而在硅片上却能刻蚀出直线来，这一般是什么原因？
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2010/6/4 13:40:30 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果针尖没有问题的话，那么应该是和样品有关系。
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