主题:【原创】谁有VEECO公司的校正文件?

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bluefleet
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校正的内容很多呀,刚刚开始要做这方面的事情,发现内容很多呀,都谁有这方面的经验分享一下
没做过校正不知道如何下手开始做
只是看过说明书有个大体的概念
谢谢
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原文由 bluefleet 发表:
校正的内容很多呀,刚刚开始要做这方面的事情,发现内容很多呀,都谁有这方面的经验分享一下
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hitttr
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原文由 hitttr 发表:
扫描器的校正文件是与扫描器一一对应的。
如果扫描器的校正文件丢失的话,
可以联系厂家,他们会有备份的。

扫描器在使用过一段时间之后,会有一些变化,
这时候就需要对扫描器就行重新校正了。
校正的过程是比较复杂的,
大体上可分为非线性校正和尺度标定两部分。
首先进行非线性校正,即调节x轴和y轴mag0,mag1,arg等参数
然后再进行X轴和Y轴的正交性校正和耦合(coupling)系数校正.
最后就是尺度标定了。
你只需要按照说明书上的指导,
按步骤扫描得到一系列的图片,
然后在图片上拉测量线就可以了。
系统会自动计算校正参数值。
整个过程要花好几个小时。

大体上应该是这样的,有点记不清楚了。
如有不对的地方,请参看说明书。

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校正的内容很多呀,刚刚开始要做这方面的事情,发现内容很多呀,都谁有这方面的经验分享一下
没做过校正不知道如何下手开始做
只是看过说明书有个大体的概念
谢谢
清风侠
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用标样扫描就可以了,校正文件只是一个程序而已。整个过程时间是比较长,如果你不做计量,扫描器3,5年不用校正也可以。
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