实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8042020今日发帖：278 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描探针显微镜SPM/AFM
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：如何用SPM测试膜厚？？？？？？？

浏览0 回复8 电梯直达
gaofengju
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2004/02/09 15:18:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问如何用SPM测试膜厚。谢谢！！
为您推荐
近期热榜
热门活动
相关阅读
shawn
shawn
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2004/2/9 18:44:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
呵呵，如果非用SPM做的话，那只能通过划痕试验NanoScratch来测试。
1、可以从摩擦力位移曲线上看出，摩擦力的突变点对应的纵向位移就是膜的厚度。
2、划完后再用AFM/SPM扫描成像直接看出。
不过，我还是不主张用SPM来测试膜厚。我给你推荐一款对于薄膜无损坏的测试仪器，X荧光膜厚测试仪。很不错，可以考虑试试。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
Last edit by shawn
joy
joy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2004/2/20 10:47:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SPM是可以用来测量膜厚的，比如说使用旋转成膜（spin coating）等方法成的膜，可以用很尖的针或刀片在膜表面划一道沟槽，露出基底的表面，这时候在沟槽附近扫一张AFM图像，然后做横截面分析（Section Analysis），通过比较膜上表面和基底之间的垂直距离，就可以得到膜厚了，非常精确。缺点是只能测量膜厚不超过5微米的膜。



赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
ifish
ifish
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/9/3 22:46:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上说得比较常用的
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
agmlab
agmlab
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/9/15 21:45:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 joy 发表:
SPM是可以用来测量膜厚的，比如说使用旋转成膜（spin coating）等方法成的膜，可以用很尖的针或刀片在膜表面划一道沟槽，露出基底的表面，这时候在沟槽附近扫一张AFM图像，然后做横截面分析（Section Analysis），通过比较膜上表面和基底之间的垂直距离，就可以得到膜厚了，非常精确。缺点是只能测量膜厚不超过5微米的膜。





这样做会不会对沟槽边缘的样品产生影响?是常温条件下做的吗?
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
ifish
ifish
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/9/17 21:52:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以在常温下测的
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
shan5233
shan5233
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2007/5/7 18:03:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用划痕方法在划开区域会有卷边，所以这种方法基本不可行，测得的数据是不对的。SPM不能得到精确的膜厚，它是一个表面分析工具，所以如果要测量膜厚的话应该采用这方面专业的工具。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
coocal
coocal
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2007/5/28 13:34:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用AFM刮擦法一般不能刻一条痕迹，这样在刻痕边上有强烈的卷边突起现象，可以采用刻出一个正方形的方式，利用表面分析工具，测量凹坑的深度。
一般基底较硬膜涂层较软的材料可以用这种方法。
该方法不是太准确，只能作为一般定量，如果要测得比较准确的数据，建议其他测试仪器和方法，比如台阶仪（微米级），椭圆偏振片（纳米级）。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
yctczhangwei
yctczhangwei
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2010/3/3 16:42:55 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有道理，一般使用红外激光测膜仪
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 如何用SPM测试膜厚？？？？？？？
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁