主题:【求助】请问Tapping Mode下J头扫描时的参数问题?

浏览0 回复3 电梯直达
jeasy
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刚换了个J头(125um),带加热的,Tapping模式下测形貌,测样的时候不稳定,尤其是z center position飘的比较厉害,跳线也比较严重,不知道怎么回事,请各位指点。有没有可能是头子有问题了?
再请各位大虾指点,J头扫描的时候扫描频率的一般范围是多少?还有下针时scan size, rate, I gain, P gain 的初始值调到多少,和其他头子一样么?大头扫描应注意些什么问题?谢谢!
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JayZHONG
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恩,很有可能!
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JayZHONG
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恩,这个说法有可能
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