主题:【求助】请教SPA 300HV的KFM问题

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guolinhao
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哪位用过日本精工的SPA 300HV中的KFM模式啊?最近利用KFM模式测样品的表面电势时,感觉得到的图像有点问题,但是不知道是哪方面的原因。测得的表面电势有-9000多毫伏,不知道大家觉得原因出在哪里?我用的是KFM里的形貌与电势同时测量模式,我们的样品是放到了有一层厚度为300nm二氧化硅的硅片,还请高手指点。
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jidzhang
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guolinhao
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哦 我感觉值太大了,能否qq想你请教 我的qq 304228357 谢谢
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