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主题：【求助】做刻蚀时为什么总是刻不出来图像

浏览0 回复2 电梯直达
guolinhao
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发表于：2010/05/08 14:26:02 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的是日本精工的SPM,在对样品进行刻蚀的时侯，本来是想刻蚀出一条直线，为什么只刻蚀出几个点来，所加的刻蚀电压已经是最高了
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2010/6/1 16:43:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我也想多了解一些关于afm刻蚀的知识，希望各位前辈能多加指点。先谢了
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hitttr
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2010/6/4 11:15:53 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用什么样品刻的呀？刻蚀的结果和针尖样品都有关系。
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