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主题：【讨论】能谱仪是如何控制电子束的

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yinsh1212
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发表于：2008/07/27 21:09:03 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在进行EDS分析中，可以在SEM图上进行选区分析，能谱仪是如何控制电子束进行选区分析的呀。选一个点进行分析时，是否电子束就是打在那个点上，而选一个区域进行分析时，电子束是否要进行扫描呀。
菜菜问题！
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2008/7/28 7:37:42 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yinsh1212 发表:
在进行EDS分析中，可以在SEM图上进行选区分析，能谱仪是如何控制电子束进行选区分析的呀。选一个点进行分析时，是否电子束就是打在那个点上，而选一个区域进行分析时，电子束是否要进行扫描呀。
菜菜问题！



理論上應該是這樣的﹐要可放電不嚴重電子束就不會偏
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atlas
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2008/7/28 10:25:35 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yinsh1212 发表:
在进行EDS分析中，可以在SEM图上进行选区分析，能谱仪是如何控制电子束进行选区分析的呀。选一个点进行分析时，是否电子束就是打在那个点上，而选一个区域进行分析时，电子束是否要进行扫描呀。
菜菜问题！


区域也是选点计算平均值!
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refractories
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2008/7/28 10:53:54 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习了，谢谢！
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rodgerfei
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2008/7/28 11:13:27 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
但电子束也有自己的束斑尺寸大小，
当你所选的“点”太小，
也就是放大倍数很大时选的点本身尺寸还小于电子束束斑尺寸
就没有意义了
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starfae
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2008/7/29 8:09:58 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很好的问题，希望专家能够回复，谢谢！！！
原文由 yinsh1212 发表:
在进行EDS分析中，可以在SEM图上进行选区分析，能谱仪是如何控制电子束进行选区分析的呀。选一个点进行分析时，是否电子束就是打在那个点上，而选一个区域进行分析时，电子束是否要进行扫描呀。
菜菜问题！
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jwlee
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2008/8/3 22:10:17 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个问题问得很好，我认为不外乎两种方式：1、扫描所选区域；2、选几个点作叠加。但我也不能确定是何种方式。
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Last edit by jwlee
yinsh1212
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2008/8/9 17:56:07 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 rodgerfei 发表:
但电子束也有自己的束斑尺寸大小，
当你所选的“点”太小，
也就是放大倍数很大时选的点本身尺寸还小于电子束束斑尺寸
就没有意义了


应该是这样的，这么说来，EDS分析的最小的点的大小就会受到电子束斑的大小的制约了，另外，我觉得实际得到的谱图的信息应该还受到电子束在样品中的扩散效应的影响，所以实际分析的面积大小可能会比选定的区域要大。
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