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主题：【求助】电镜不能正常抽真空?

浏览0 回复8 电梯直达

touzhu

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发表于：2007/05/16 22:45:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

电镜正常开机,运行软件都没有问题.抽真空有问题.

抽真空,机器泵正常运行,分子泵不能运行.

电镜是LEO的,用了好多年了,我刚接手好多要学习,请教了.

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2007/5/17 8:59:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

可能是机械泵的密封圈需要更换了，

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semuser

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2007/5/17 18:17:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

机械泵与主机的密封环不太容易污染，分子泵没有起转只能是
1、初级真空没达到要求，可能是机械泵缺油或故障、样品室有漏气
2、真空逻辑错误，检查真空控制板
3、分子泵问题

第一项可能性大，而且用户一般只能检查这些
建议看看样品室门是否关严，或门的密封环、密封面是否污染

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touzhu

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2007/5/17 19:50:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 semuser 发表:
机械泵与主机的密封环不太容易污染，分子泵没有起转只能是
1、初级真空没达到要求，可能是机械泵缺油或故障、样品室有漏气
2、真空逻辑错误，检查真空控制板
3、分子泵问题

第一项可能性大，而且用户一般只能检查这些
建议看看样品室门是否关严，或门的密封环、密封面是否污染

谢谢你的答复.
1,初级真空应该是达到要求了,更换备用的机械泵也是同样的问题.样品室应该也没有漏气.
2,3都不确定哪有问题.

我这电镜过年期间一直没有用,大概2个多月没有开了.2007.1月正常用没有问题,3月开机分子泵就没有反应了.不知道跟长期不开有没有原因?

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bossvip

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2007/8/1 9:19:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

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