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主题：【求助】离子泵不能工作了是什么原因

浏览0 回复11 电梯直达
freddie
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发表于：2008/09/18 16:30:13 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在SEM机台停机2个月后重新开机发现:离子泵电源打开后没反应(显示灯不亮).不知道是什么原因？请知情者告之。。。 谢谢！
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2009/10/26 11:42:49 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扫描电镜还装了离子泵？是LaB6灯丝的？前级泵工作正常吗？看看真空图
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fengyonghe
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2009/10/26 18:49:32 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
离子泵是不能停电的，你已经停了两个月，祝愿你能把它恢复好。
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常怀千岁忧
narcisus
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2009/11/4 17:11:19 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
离子泵启动需要一定的启动压力，长时间断电导致泵内压力过高时无法启动。一般需要配合前级泵预抽和烘烤。建议跟供应商联系
====
发完之后才发现是古代的帖子了，算我没说
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Last edit by narcisus
jzhx68
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2009/11/5 10:12:55 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 (freddie) 发表:
在SEM机台停机2个月后重新开机发现:离子泵电源打开后没反应(显示灯不亮).不知道是什么原因？请知情者告之。。。 谢谢！


离子泵的启动需要有一定的真空度，你可能由于停机时间过长，真空很低了，所以离子泵启动不起来。
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guanjun19860820
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2009/11/8 12:41:32 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
,2个月不开机啊？这个问题还是找厂家工程师吧！
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zhuzhuhai
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2013/2/17 9:01:03 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我一大早来开机就出现了这样的问题，哎呀
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lichunzhang
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2013/3/23 4:01:23 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能首先得区分-是离子泵电源问题还是离子泵内部短路问题？
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fengyonghe
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2013/3/23 22:35:27 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
2008年的事，LZ是如何解决的给大家说一说。
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m520j
v2775511
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2014/3/31 20:08:48 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我也遇到这种情况~~~不知道怎么解决~~~求方法~~~
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canne_yswei
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2014/8/19 16:28:48 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空期太低，离子泵启动要一定的真空度的！
我的电镜是LEO-1530,离子泵启动要等到系统真空达到2*10-3pa才能启动！
等分子泵慢慢抽吧！
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