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主题：【求助】有没有用尼高力傅里叶红外测碳化硅外延片厚度的？求讨论

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发表于：2017/09/06 13:47:38 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有没有用尼高力傅里叶红外测碳化硅外延片厚度的？求讨论。
这个需要用标准样品校准吗？如何做的呢？
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2017/9/29 20:35:33 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般来说肯定是要标准品的，不过有一种最简单的测量外延层方法，不需要标准品，使用干涉图就可以了，不过外延层要比较厚能产生明显的干涉峰才行。
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2017/10/2 15:22:18 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
利用干涉条纹测量样品的厚度，确实是比较精确，但是厚度必须满足某些条件。
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