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主题：【讨论】Zeiss FE SEM探测器答疑解惑

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Insm_5225054a

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发表于：2018/07/11 23:26:06 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

in-lens，EsB，AsB，SE2分别指哪些？据我所知，1.Inlens SE是镜内环形二次电子探测器(必然会混合一部分背散射电子)
2. EsB是带走filter grid的 HA BSE(成份像)，可以通过调节去控制混入的二次电子信号量
3. AsB是LA BSE(应该会混入部分SE Singal?),主要是背散射电子的形貌衬度。
4. SE2在这里是指什么呢？谢谢各位大神

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2018/7/12 9:10:41 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

n-lens，EsB，AsB，SE2分别指哪些？据我所知，1.Inlens SE是镜内环形二次电子探测器(必然会混合一部分背散射电子)
2. EsB是带走filter grid的 HA BSE(成份像)，可以通过调节去控制混入的二次电子信号量
3. AsB是LA BSE(应该会混入部分SE Singal?),主要是背散射电子的形貌衬度。
4. SE2在这里是指什么呢？谢谢各位大神

1.正确
2.EsB探测器－－－能量选择背散射探测器。E能量
3.AsB?-----------角度选择背散射探测器。A角度
4.SE2------------二次电子下探头/背散射激发的二次电子

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2018/7/12 10:10:33 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:n-lens，EsB，AsB，SE2分别指哪些？据我所知，1.Inlens SE是镜内环形二次电子探测器(必然会混合一部分背散射电子)2. EsB是带走filter grid的 HA BSE(成份像)，可以通过调节去控制混入的二次电子信号量3. AsB是LA BSE(应该会混入部分SE Singal?),主要是背散射电子的形貌衬度。4. SE2在这里是指什么呢？谢谢各位大神1.正确2.EsB探测器－－－能量选择背散射探测器。E能量3.AsB?-----------角度选择背散射探测器。A角度4.SE2------------二次电子下探头/背散射激发的二次电子

谢谢大神，SE2这个探头也就是平常所说的ET探头了，包含SE1/2/3及BSE吗？

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