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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【讨论】扫描电镜大FOV下反而荷电更严重？

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SEMDriver
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发表于：2019/04/17 15:53:23 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扫描电镜拍摄导电性差的样品（不镀膜），其他条件不变，FOV越大，反而荷电效应越明显，这是为什么呢？
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fengyonghe
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2019/4/18 7:48:06 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是这样吧，单位面积上的贺电量不变，FOV越大贺电总量越大。                                                                                 
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p3328293
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2019/4/22 23:41:02 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
猜想，是不是样品局部放电？
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maxwellar
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2019/4/29 3:20:39 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
fov是啥？
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SEMDriver
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2019/4/30 14:34:34 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由fengyonghe(fengyonghe)发表:应该是这样吧，单位面积上的贺电量不变，FOV越大贺电总量越大。                                                                                 
感觉不是这样的，其他参数不变，FOV的改变只是放大倍率的改变，时间不变～～可是FOV越大，图像四周出现荷电越严重
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2019/4/30 14:35:12 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由maxwellar(maxwellar)发表:fov是啥？
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伯爵山
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2019/7/30 13:22:19 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个现象倒是一直没有注意过，FOV大，应该偏转输出增大，轴外像差变大，造成大FOV时的边界分辨率较差。一直没有关心过荷电的影响。楼主确定只是变化了FOV？其他条件什么都没变化/
还有一种原因是，在楼主增大FOV之前，仪器一直 看的是小的FOV，此时该区域的电子一直在打，荷电积累较为严重。增大FOV后，应该是中间FOV会亮一点，外围FOV是暗一点。
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fengyonghe
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2019/8/1 0:13:57 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:
感觉不是这样的，其他参数不变，FOV的改变只是放大倍率的改变，时间不变～～可是FOV越大，图像四周出现荷电越严重
FOV越大，电子束扫描面积越小，使得荷电聚集在更小的视场面积内，被观察视场的荷电就更严重了                                                                                                                   
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SEMDriver
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2019/8/4 15:07:56 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表: FOV越大，电子束扫描面积越小，使得荷电聚集在更小的视场面积内，被观察视场的荷电就更严重了                                                                                                                                                                                                                                         
FOV越大，电子束扫描的面积也越大，放大倍率越小的
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SEMDriver
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2019/8/4 15:09:12 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 伯爵山(Ins_91e7d720) 发表:这个现象倒是一直没有注意过，FOV大，应该偏转输出增大，轴外像差变大，造成大FOV时的边界分辨率较差。一直没有关心过荷电的影响。楼主确定只是变化了FOV？其他条件什么都没变化/还有一种原因是，在楼主增大FOV之前，仪器一直 看的是小的FOV，此时该区域的电子一直在打，荷电积累较为严重。增大FOV后，应该是中间FOV会亮一点，外围FOV是暗一点。
改天给你发张图片就能看到这种现象了
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