相互作用区的概念是指在样品表面之下的一个体积。如上图可见,相互作用区是入射电子束入射到样品表面激发出各类电子信号,电子信号的扩散范围。
从图中可以看到,这样的一个体积形状呈现出“梨型”
这和散射性质相关。首先,对于弹性散射和非弹性散射,弹性散射散射角>非弹性散射的散射角当电子束入射到样品,随着电子的不断深入,能量不断减少,弹性散射发生的几率变大,由于弹性散射角较大,因而向四周扩散范围也变大,所以呈现出上窄下宽的“梨”型区域。相互作用区与入射电子束能量和原子序数有关联。Q:弹性散射截面(几率) E:电子束能量 Z:原子序数有上述两个公式可知,电子束能量越高,弹性散射几率越小。可以理解为,当电子束深入样品,能量不断减小,因而弹性散射的几率则不断变大,造成梨型区域的底部。原子序数越高,弹性散射截面越大,即弹性散射发生的可能性越大。因此对于原子序数大的样品,其作用区域就可能是“弓形”而非”梨型“