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主题：【求助】GC设置氢气和空气关，怎么还有流量？

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yekenyh
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发表于：2018/12/23 21:27:53 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
GC设置氢气和空气关，怎么还有流量？
在方法里设置了氢气和空气都关（之前运行是开着的），预运行温度都达到了，就是氢气和空气没完全关，总有0.4到0的流量在跳，安捷伦机器就一直显示“未就绪，后检测器流量”，等了很久都是这个样子。
这种情况有什么方法解决呢？
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2018/12/23 22:15:01 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是关不严吗？如果打开可以正常进行流量调节吗？
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sdlzkw007
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2018/12/24 4:56:30 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看样子是两个检测器，建议你们排查一下方法设置里面的参数，包括通用参数设定的条件。
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PAEs
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2018/12/24 10:10:23 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是设置了一个的，还有一个未设置
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dadgoh
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2018/12/24 11:02:47 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
停止载气的情况下在FID出口检测一下有没有流量。确实有说明EPC关闭不严。
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xiaogumd11
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2018/12/24 11:18:48 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是双检测器，双进样口，看没有用的检测器和进样口设置
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senke
lifen4607
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2018/12/24 11:45:21 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在面板上OFF掉可以关闭
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www
cxm2009
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2018/12/24 11:50:01 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
点击状态，确定提示是什么。点击关，实际值是多少都不会引起报警。只有你将setup值设定为零，而实际值达不到的话才报警的
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zyl3367898
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2018/12/24 22:21:37 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
面板上按OFF键时，还有流量吗？如果还有，可能是EPC有问题。
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yekenyh
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2018/12/24 22:55:57 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:
面板上按OFF键时，还有流量吗？如果还有，可能是EPC有问题。


面板上setpoint 设置为关，等到很久还是有0.4左右的流量，很小，不知道是不是EPC有问题，不知道有什么方法可以解决这个问题?
减少氢气和空气瓶上的压力调节器的压力（原来是0.4Kpa),把它降到0.3或0.25不知道能不能解决
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yekenyh
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2018/12/24 23:01:09 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 荆棘鸟(zongguitang) 发表:
是关不严吗？如果打开可以正常进行流量调节吗？
应该是关不严，设置40时流量是可以正常，就是关的时候没有完全关闭。
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