主题:【求助】气质调谐不通过,氮气丰度高

浏览0 回复18 电梯直达
m3331184
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气质开机抽了一上午,氮气相对丰度降到50%左右就降不下来了,调高分流比,关掉载气节省后氮气丰度能降到10%以下,分流比调低后,氮气丰度又上升,请大神们指点一下,
该帖子作者被版主 symmacros1积分, 2经验,加分理由:发帖。
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symmacros
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m3331184
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原文由 symmacros(jimzhu) 发表:请问氮氧比例是多少?
氮的相对丰度50%左右,氧的相对丰度在1%左右
yinxaoxao
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堵头哪里有漏气,或者是不式 刚换的气体进入大量的空气导致;
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原文由 yinxaoxao(yinxaoxao) 发表:堵头哪里有漏气,或者是不式 刚换的气体进入大量的空气导致;
你说的堵头是哪儿?
yinxaoxao
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原文由 m3331184(m3331184) 发表:你说的堵头是哪儿?
设备前面你们有没有接空气过滤器,如果接的话那个堵头放空5分钟,
我是风儿
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原文由 yinxaoxao(yinxaoxao) 发表:
设备前面你们有没有接空气过滤器,如果接的话那个堵头放空5分钟,
多放空一会儿就好了,或者再烘烤下MSD
symmacros
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估计是捕集阱是留有氮气,还是多吹一会。请问换过气吗?
yinxaoxao
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原文由 我是风儿(nphfm2009) 发表: 多放空一会儿就好了,或者再烘烤下MSD
是的,但是不知道楼主是否操作过,有的人没有试过都不敢做!我们之前换气体进入空气多都是这样整的!就好了!
m3331184
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原文由 yinxaoxao(yinxaoxao) 发表:设备前面你们有没有接空气过滤器,如果接的话那个堵头放空5分钟,
可以在抽真空的状态下放空吗?
yinxaoxao
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原文由 m3331184(m3331184) 发表:可以在抽真空的状态下放空吗?
不可以,降温,卸真空,正常关机!
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