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主题：【已应助】GC7890A辅助区压力高

浏览0 回复18 电梯直达
Insm_f8453bf0
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发表于：2020/08/14 19:23:01 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
7890A一做样就显示EPC 辅助区2压力高？拜托帮我解答一下？
推荐答案：www回复于2020/08/18
一做样就有问题吗？有载气节省？方法设置是不是有问题，调用其他方法试试
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czcht
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2020/8/15 9:22:56 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
参考。https://bbs.instrument.com.cn/topic/5381456
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lsyecspc
liushuyong
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2020/8/15 14:00:26 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有可能是分流口的捕集肼效了。可以进样时注意观察一下哪个压力高于设定值。
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dadgoh
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2020/8/15 16:06:42 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
再一个方面，清洁一下进样口上的分流及吹扫管线中的进样垫碎削等杂质。
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安平
byron1111
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2020/8/15 21:24:19 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
      详细说说具体情况为好？

      楼主的GC，主要分析什么项目？

      辅助EPC？应该有特殊的应用，最好详细说说具体情况。
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zyl3367898
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2020/8/15 23:04:40 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查分流平板是否污染，分流捕集阱如何知道它堵塞呢
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安平
byron1111
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2020/8/15 23:17:58 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
    辅助EPC，一般不用在进样口上。

    估计楼主的GC是一台专用GC，不太一样的。
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lhl
lhl8595
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2020/8/16 8:39:01 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
辅助EPC一般控制压力输出，如果提示压力高，有可能是后路有堵塞或者EPC本身硬件故障。
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zyl3367898
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2020/8/16 22:30:37 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查分流平板，还有气相后面的气管是否漏气。
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墨林
Insm_182d8be8
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2020/8/17 9:07:48 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
辅助区2是
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墨林
Insm_182d8be8
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2020/8/17 9:08:17 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 墨林(Insm_182d8be8) 发表:辅助区2是
辅助区2是控制哪一块的？
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