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主题：【已应助】安捷伦7900量测P元素含量

浏览0 回复28 电梯直达

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光哥

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2021/1/13 9:42:09 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 Insm_fda1fab5(Insm_fda1fab5) 发表: 没钱啊。。。

发出了令人难以置信的声音：最近FAB厂都在涨价，汽车行业甚至因为无芯可用导致停产了

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Insm_fda1fab5

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2021/1/13 9:55:11 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
有SiF=47。这个元素以前我做得也不少。
要么试试提高功率到800/900w同时通He，要么换成8900s，要不然最低点50ppt，单杆很难搞。
另外冷焰同时通氦气，你先试试，不一定是你想的没有感度了。建议专门针对47PO做一个调谐文件，手动调各个透镜参数，调的时候配个P单标，看P单标和DIW，让47PO和DIW中47达到最高信噪比。测试的时候单独调用这个调谐条件做P

您提醒我了，因为我是量测晶圆表面的P元素，即使把PO的线性拉出来了，但是在测片子的时候，SiF这个干扰会存在，所以He还是有必要通的

另外，目前我手里没有单标的P标准品，而是那种多元素的，那么我使用此标准品调谐，如果只监控PO47这个质量数，其他元素的存在会不会对机台造成影响？

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光哥

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2021/1/13 11:09:18 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 Insm_fda1fab5(Insm_fda1fab5) 发表: 您提醒我了，因为我是量测晶圆表面的P元素，即使把PO的线性拉出来了，但是在测片子的时候，SiF这个干扰会存在，所以He还是有必要通的另外，目前我手里没有单标的P标准品，而是那种多元素的，那么我使用此标准品调谐，如果只监控PO47这个质量数，其他元素的存在会不会对机台造成影响？

没有Si就行，我忘了冷焰下还有另一个更大的干扰源SiOH。装机的时候工程师没告诉你47要同时监控45的感度？

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fltt

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2021/1/13 13:34:16 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

可以试一下HEHe模式测31P

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timstoicpms

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2021/1/13 14:27:32 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fltt(fltt) 发表:
可以试一下HEHe模式测31P

你只是简单知道有高能He模式，但你不知道楼主的应用领域是半导体级高纯测试。

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timstoicpms

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2021/1/13 14:47:57 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

现有 7900s 是无法满足你的需求了。你看看这篇，8800/8900s

附件：

5991-2466EN 高纯Si测P Ti.pdf

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fltt

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2021/1/13 14:56:37 17楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:
现有 7900s 是无法满足你的需求了。你看看这篇，8800/8900s

你只是简单知道推荐串接，但你不知道楼主只有一台7900

。

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光哥

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2021/1/13 15:17:38 18楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fltt(fltt) 发表:
你只是简单知道推荐串接，但你不知道楼主只有一台7900。

然而串接才是终极解决之道

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fltt

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2021/1/13 15:21:31 19楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

7700s的数据

附件：

5990-8175ZHCN_AppNote_7700s_Trichlorosilane.pdf

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光哥

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2021/1/13 15:46:33 20楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fltt(fltt) 发表:
7700s的数据

行的方法是将液体 TCS 转移到实验室进行分析。在本研究中，按照适当的安全预防措施将液体 TCS 转移到洁净实验室，并用以下步骤完成细致的样品前处理，然后进行分析：在惰性气氛中通过温和水解将液体 TCS 转化为 SiO2，将其溶解在 HF 溶液中通过加热干燥除去 Si（以 SiF4 气体形式存在）。然后将干燥的残留物重新溶解在 0.4% HCl 溶液中，进行 ICP-MS 分析。

没有任何的意义，这里是去除了Si基体，但楼主的那么一滴溶液显然是无法加热去除的。

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