主题:【原创】岛津气质QP2010 Ultra开机分子涡轮泵启动不了,怎么解决

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恶灵骑士
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昨天测样的时候,弹出涡轮分子泵未准备好,接着离子真空计不能正常控制。
早上发现机械泵没油了,加了岛津的15号油。
但现在开机,分子涡轮泵一直启动不了,不知道有没有什么排查或者检测的方法,工程师上门太贵了,想自己先排查一下。
上周有个同事,关机的时候没有正常关机,直接按的开关,不知道和这个有关系没。
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安平
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高真空报警,很可能是硬件故障,建议报修一下为好。


点击 真空控制,高级。
点击  rotatory pump 开关,3min后如果低真空数值可以顺利下降。

点击 分子泵开关,如果可以启动,应该只有高真空计损坏。


如果不能,有可能严重泄漏,或泵损坏
安平
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