主题:【求助】关于XPS,AES在进行分析测试时的测试条件需要注意什么?

浏览0 回复6 电梯直达
lmwj1234
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我是做芯片表面污染的,想用XPS,AES分析污染物的成分和化学键的状态,但是测试条件的选择也是比较重要的,我想请教大家在进行这两种分析的时候,需要注意哪些方面,谢谢!
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imrxps
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student11
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To XPS:
1. the analysis area should be large enough, for example 2mmx2mm, unless you use very good XPS machine.
2. if you sample is not metal, you should notice to reduce the discharge.

aiyongping
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世界之窗
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表面的一个注意很重要,不过是避免不了空气中的有机碳的吸附的,所以要注意少被吸附。。。。。。。。。
世界之窗
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999youran
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