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主题：【求助】纳米线阵列是否可以用XPS分析？

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wellee
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发表于：2007/10/25 20:30:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在基底上沉积的膜(10几纳米左右，有孔洞)+纳米线阵列(1微米左右)，想分析纳米线的成分，可否用xps?
xps能够反映表面以内多深的信息？基底的信息会造成干扰么？膜呢？
菜鸟一只，不要见笑。
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feixiong5134
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2007/10/26 5:29:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wellee 发表:
在基底上沉积的膜(10几纳米左右，有孔洞)+纳米线阵列(1微米左右)，想分析纳米线的成分，可否用xps?
xps能够反映表面以内多深的信息？基底的信息会造成干扰么？膜呢？
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XPS分析的深度是3-5Nm,分析面积在1000微米左右,也可以小于1000微米.
应该可以分析成分
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ligroin
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2007/10/31 10:30:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果面积是微米级别，可能要使用微区分析，操作上有一定难度
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