主题:【求助】利用XPS数据如何计算原始的原子比?

浏览0 回复5 电梯直达
lvjg1
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Name     Start BE    Peak BE    End BE    Height CPS    FWHM eV
C1s    291.1    285.01    283    10651.9             1.38
O1s    534.5    530.57    528.7    87686.16             1.67
Zn2p3    1024.75    1021.59    1019    450913.13             1.73
Na1s    1074.3    1072.02    1069.3    12875.06             1.61

Area (P) CPS.eV    Area (N) KE^1.0    At. %   
20415.29               0.1104             11.59
171428.61               0.396             41.58
850723.06               0.4214             44.26
21858.51               0.0245             2.57

F     Q     SF Al Wagn    TXFN     Backgnd
    1    0.25           615.7985     Smart
    1    0.66           686.0777     Smart
    1    4.8           904.3327     Smart
    1    2.3           937.3189     Smart

PP Height CPS    PP Hgt (N)     PP At. %      Title
10736.66             0.0087               10.01           C1s Scan
88066.74             0.0305               35.07           O1s Scan
451944.8        0.0448               51.47           Zn2p3 Scan
13442.69             0.003               3.46           Na1s Scan

我是在中国科大测的XPS,测试老师给了这一系列的数据,但我不知道他是利用表格中的哪些数据来计算At.%,而且这里有两个At.%分别代表什么意思?请教各位老师,谢谢!
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feixiong5134
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呵呵
吴老师给做的?
用 At. % 这一列的数据就可以了
不知道为什么你的这一列是空的呢?
lvjg1
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由于计算的时候把碳也算进去了,而我的薄膜中没有碳,吴老师说碳主要是薄膜表面的吸附碳,我想把碳去掉,重新计算一下。不知道有没有办法计算?
feixiong5134
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那你把C除去
比如C占10%
那么剩下的为90%
你用剩下的元素的含量除以90%就是各自的含量

feixiong5134
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不过我建议你直接用一个元素的含量除以c的含量
得出一个比值
然后一系列样品比较
如果单说一个元素的含量
在xps里面没有太大意义
因为它是半定量的
lvjg1
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