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扫描探针显微镜SPM/AFM

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主题：【讨论】有没有人用afm做薄膜表面粗糙度的分析

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zwf55555

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发表于：2007/12/12 16:27:57 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

afm得到样品表面形貌，用表面动力学理论如何分析

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2007/12/14 11:12:32 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zwf55555 发表:
afm得到样品表面形貌，用表面动力学理论如何分析

没做过这方面的。不知道。
另外，你要用表面动力学分析啥呀？麻烦说清楚点呀

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2007/12/14 13:38:12 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

afm分析薄膜表面粗糙程度和膜厚的关系，从而得出薄膜的生长模式

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2007/12/18 14:26:37 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

使用AFM测试薄膜的表面粗糙度没有问题。但是要精确测定膜厚需要一定的技术水平。

原文由 zwf55555 发表:
afm分析薄膜表面粗糙程度和膜厚的关系，从而得出薄膜的生长模式

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2007/12/19 22:39:53 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

表面形貌就测过，膜厚未曾做，技巧如何？

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2007/12/23 19:38:22 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

个人认为，用AFM测量膜厚不外乎有三种方法：
1.从截面进行测量，利用光学系统将针尖定位在界面附近，然后进行扫描。
这需要做镶嵌样，将样品镶嵌在树脂中，然后磨平，进行扫描。
利用相位成像技术，能区分出衬底，膜和树脂。
这种方法制样比较复杂，结果不大可靠。

2.做台阶样品，即让膜在衬底上部分生长，这样就可以在衬底上形成一个膜的台阶，利用光学系统将针尖定位在台阶附近，进行扫描即可。
这种测量方法最为准确，且样品制备也相对简单。
只需在膜的制备过程中，将衬底的一部分区域保护起来，不让膜形成即可。

3.对于一些比较软，且厚度较小（几纳米到几十纳米）的样品而言。
可以用刻蚀的方法，用针尖在样品上刻蚀出一个衬底与膜的界面，
即把膜划穿，露出衬底。然后扫描这个界面即可。
这种方法，适用范围较窄，且测量结果也缺乏准确性。