原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜,配的是牛津的INCA能谱,有一些问题,不知道大家知道嘛?
INCA的探头不带电子陷阱,说是避免对SEM的in-lens模式造成影响,不知道这个说法对嘛?这样一来,在做能谱时,SEM要先手动切换到EDX能谱模式,才能进行正常的能谱采集,但是一旦转到EDX能谱模式下,SEM在低倍下的成像就很差,800倍下图像中心都会有个亮斑,就像低倍下的光学显微镜一样,也不知道是怎么回事?
哪位仁兄遇到过同样的问题呢?请多指教呀。
原文由 tao______ 发表:
的确是这样,NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的,您可以打开仓门看,上面的准直器和一般的是不一样的,是一种长长的很尖的准直器,里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱,在正常模式下,电子会进入探测器,形成很高的噪音,死时间很大,能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子,当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告:布鲁克的SDD能谱没有这样的问题,如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片,无需切换到EDS模式直接就可以分析,因此电镜的分辨率不受影响。原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜,配的是牛津的INCA能谱,有一些问题,不知道大家知道嘛?
INCA的探头不带电子陷阱,说是避免对SEM的in-lens模式造成影响,不知道这个说法对嘛?这样一来,在做能谱时,SEM要先手动切换到EDX能谱模式,才能进行正常的能谱采集,但是一旦转到EDX能谱模式下,SEM在低倍下的成像就很差,800倍下图像中心都会有个亮斑,就像低倍下的光学显微镜一样,也不知道是怎么回事?
哪位仁兄遇到过同样的问题呢?请多指教呀。
原文由 RENXIN 发表:原文由 tao______ 发表:
的确是这样,NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的,您可以打开仓门看,上面的准直器和一般的是不一样的,是一种长长的很尖的准直器,里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱,在正常模式下,电子会进入探测器,形成很高的噪音,死时间很大,能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子,当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告:布鲁克的SDD能谱没有这样的问题,如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片,无需切换到EDS模式直接就可以分析,因此电镜的分辨率不受影响。原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜,配的是牛津的INCA能谱,有一些问题,不知道大家知道嘛?
INCA的探头不带电子陷阱,说是避免对SEM的in-lens模式造成影响,不知道这个说法对嘛?这样一来,在做能谱时,SEM要先手动切换到EDX能谱模式,才能进行正常的能谱采集,但是一旦转到EDX能谱模式下,SEM在低倍下的成像就很差,800倍下图像中心都会有个亮斑,就像低倍下的光学显微镜一样,也不知道是怎么回事?
哪位仁兄遇到过同样的问题呢?请多指教呀。
我也知道FEI的NANOSEM不用磁性的电子陷阱,想必是电镜设计的不同。
所以逻辑上讲要是电镜设计的问题,任何使用磁性陷阱的能谱探头都应该不适用,为什么BRUKER的就行呢,不明白。
顺便提一句,个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强,BRUKER的强得多,为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。
原文由 tao______ 发表:
回RENXIN兄:NAVA NANOSEM 我们有专用的电子陷阱,非磁性材料的,不知道确切的名字叫什么?听JIANFENG兄讲叫做静电场电子陷阱!原文由 RENXIN 发表:原文由 tao______ 发表:
的确是这样,NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的,您可以打开仓门看,上面的准直器和一般的是不一样的,是一种长长的很尖的准直器,里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱,在正常模式下,电子会进入探测器,形成很高的噪音,死时间很大,能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子,当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告:布鲁克的SDD能谱没有这样的问题,如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片,无需切换到EDS模式直接就可以分析,因此电镜的分辨率不受影响。原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜,配的是牛津的INCA能谱,有一些问题,不知道大家知道嘛?
INCA的探头不带电子陷阱,说是避免对SEM的in-lens模式造成影响,不知道这个说法对嘛?这样一来,在做能谱时,SEM要先手动切换到EDX能谱模式,才能进行正常的能谱采集,但是一旦转到EDX能谱模式下,SEM在低倍下的成像就很差,800倍下图像中心都会有个亮斑,就像低倍下的光学显微镜一样,也不知道是怎么回事?
哪位仁兄遇到过同样的问题呢?请多指教呀。
我也知道FEI的NANOSEM不用磁性的电子陷阱,想必是电镜设计的不同。
所以逻辑上讲要是电镜设计的问题,任何使用磁性陷阱的能谱探头都应该不适用,为什么BRUKER的就行呢,不明白。
顺便提一句,个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强,BRUKER的强得多,为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。
原文由 tao______ 发表:
回RENXIN兄:NAVA NANOSEM 我们有专用的电子陷阱,非磁性材料的,不知道确切的名字叫什么?听JIANFENG兄讲叫做静电场电子陷阱!原文由 RENXIN 发表:原文由 tao______ 发表:
的确是这样,NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的,您可以打开仓门看,上面的准直器和一般的是不一样的,是一种长长的很尖的准直器,里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱,在正常模式下,电子会进入探测器,形成很高的噪音,死时间很大,能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子,当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告:布鲁克的SDD能谱没有这样的问题,如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片,无需切换到EDS模式直接就可以分析,因此电镜的分辨率不受影响。原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜,配的是牛津的INCA能谱,有一些问题,不知道大家知道嘛?
INCA的探头不带电子陷阱,说是避免对SEM的in-lens模式造成影响,不知道这个说法对嘛?这样一来,在做能谱时,SEM要先手动切换到EDX能谱模式,才能进行正常的能谱采集,但是一旦转到EDX能谱模式下,SEM在低倍下的成像就很差,800倍下图像中心都会有个亮斑,就像低倍下的光学显微镜一样,也不知道是怎么回事?
哪位仁兄遇到过同样的问题呢?请多指教呀。
我也知道FEI的NANOSEM不用磁性的电子陷阱,想必是电镜设计的不同。
所以逻辑上讲要是电镜设计的问题,任何使用磁性陷阱的能谱探头都应该不适用,为什么BRUKER的就行呢,不明白。
顺便提一句,个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强,BRUKER的强得多,为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。
原文由 hitachi-demo 发表:原文由 tao______ 发表:
回RENXIN兄:NAVA NANOSEM 我们有专用的电子陷阱,非磁性材料的,不知道确切的名字叫什么?听JIANFENG兄讲叫做静电场电子陷阱!原文由 RENXIN 发表:原文由 tao______ 发表:
的确是这样,NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的,您可以打开仓门看,上面的准直器和一般的是不一样的,是一种长长的很尖的准直器,里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱,在正常模式下,电子会进入探测器,形成很高的噪音,死时间很大,能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子,当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告:布鲁克的SDD能谱没有这样的问题,如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片,无需切换到EDS模式直接就可以分析,因此电镜的分辨率不受影响。原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜,配的是牛津的INCA能谱,有一些问题,不知道大家知道嘛?
INCA的探头不带电子陷阱,说是避免对SEM的in-lens模式造成影响,不知道这个说法对嘛?这样一来,在做能谱时,SEM要先手动切换到EDX能谱模式,才能进行正常的能谱采集,但是一旦转到EDX能谱模式下,SEM在低倍下的成像就很差,800倍下图像中心都会有个亮斑,就像低倍下的光学显微镜一样,也不知道是怎么回事?
哪位仁兄遇到过同样的问题呢?请多指教呀。
我也知道FEI的NANOSEM不用磁性的电子陷阱,想必是电镜设计的不同。
所以逻辑上讲要是电镜设计的问题,任何使用磁性陷阱的能谱探头都应该不适用,为什么BRUKER的就行呢,不明白。
顺便提一句,个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强,BRUKER的强得多,为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。
学习了。但还是有一个问题不明白,请教工兵兄,这个静电场电子陷阱的场强应该不小,不然无法捕获BSE,那么这么强的静电场是否会影响SDD中电子的漂移,是否会影响电镜电子束的正常扫描呢?