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主题：【讨论】对电子枪偏压方式的理解

浏览0 回复6 电梯直达
rennyann
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发表于：2008/03/26 17:16:10 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子枪偏压方式种类不少，FEI：多极电子枪技术；日立：四偏压Quad Bias-function；日本电子：全自动无缝偏压；Tescan：中间镜技术等等：

这些方式的作用肯定是让出来的电子束性能更好，束流更大

但这些方式具体是怎么实现的，我很不明白 比如说，四偏压，难道指的是有四个电极，然后这四个电极分别加上不同的电压？ 那么这四个电极是在condenser lens （压缩透镜或者聚集透镜）之前 还是 分布在整个SEM中?

多极电子枪技术是不是也差不多？

那无缝偏压又是个什么东西呢？

非常不解，请各位赐教！！！
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2009/7/1 22:56:59 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
偏压是指在钨灯丝的栅极上加上一定的电压以阻止电子过度逸出的技术手段。一般在栅极上加上固定的偏压，屏蔽掉固定比例的电子，如30%。关于日立扫描电镜S-3000系列的四偏压，是将0-30kv的加速电压分成0-3kv，3kv-5kv，5kv-15kv，15kv-30kv四个加压段，每个加压段屏蔽掉不同比例的逸出电子。比如，0-3kv的时候仅屏蔽10%的电子，则在加速电压为0-3kv时，每档加速电压下的逸出电子都比固定偏压要多出20%；在3kv-5kv时屏蔽15%的电子，依次类推。
其目的是在低加速电压下，获得大的束流。
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驰奔
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2009/7/2 12:42:40 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这是个好问题，对于大家提高认识有帮助。我把个人学习的一些知识及心得和楼主以及广大朋友分享。
下面连续三个帖子相关联！

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2010/12/9 11:20:27 Last edit by srd2009
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2009/7/2 13:03:11 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

自给偏压三级发叉式钨丝阴极  栅极偏压电阻可调
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2010/12/9 11:21:15 Last edit by srd2009
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2009/7/2 13:43:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2010/12/9 11:20:49 Last edit by srd2009
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2009/7/2 13:52:12 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 rennyann 发表:
电子枪偏压方式种类不少，FEI：多极电子枪技术；日立：四偏压Quad Bias-function；日本电子：全自动无缝偏压；Tescan：中间镜技术等等：


我不了解所有的概念，但有一点，就是这些技术在数字控制时代都可以不难实现！好比汽车的手动档和自动档！
知其然，且知其所以然，对于实际操作中的灵活应用是非常有益处的！
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驰奔
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2009/7/16 18:29:10 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有没有人对此有高见啊
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