X射线光电子能谱(XPS)是较常用的表面分析技术之一,不仅能测定材料表面的组成元素,而且还能给出各元素的化学状态信息,在很多领域都有广泛用途。本文主要通过一些具体例子介绍X射线光电子能谱在表面元素的定性和定量分析方面的应用。X射线光电子能谱(XPS)的优点是其样品处理的简单性和广泛的适应性与高信息量。XPS的最大特色在于能获取丰富的化学信息,对样品表面的损伤最轻微,表面的最基本XPS分析可提供表面存在的所有元素(除H和He外)的定性和定量信息[1]。正是由于XPS含有化学信息,它也通常被称为化学分析电子能谱,XPS的更高级应用可得到关于表面的化学组成[2,3]和形成的更详细的信息。1定性分析定性分析就是根据所测得谱的位置和形状来得到有关样品的组分、化学态、表面吸附、表面态、表面价电子结构、原子和分子的化学结构、化学键合情况等信息。元素定性的主…