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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【讨论】场发射电镜调查－谢绝厂家销售回复

浏览0 回复14 电梯直达

phyleon

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发表于：2008/07/31 17:09:17 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

悬赏金额：20积分状态：已解决

最近在调研场发射电镜，参考了以下型号：
Zeiss Super40VP
Hitachi S-4800
JSM 7500F
FEI Nova 200 (or Nano 230)

目前只知道只有Zeiss和FEI有变压（低真空模式）且为热场，日本的两家都是冷场（据说最新的型号也有热场），四家都有低电压（减速模式）。

请相关专家给出以上几款电镜的优缺点和适用范围。或者有使用过或正在使用的用户给些参考意见。

另外我们将来观测的样品多为不导电的样品（陶瓷和塑料），请问低电压和低真空在观测样品的效果上有什么本质的不同？（低电压能否替代低真空？）

多谢！

推荐答案：RoadCH回复于2008/08/13

日立S-5500超高分辨率扫描电子显微镜

超高分辨率的显微分析对设备有特殊的要求，以便可以得到新的信息及展现纳米世界的秘密。
最新的S-5500完全可以满足这些需要。
1. 新型的物镜设计可以使其达到世界最高分辨率：0.4nm (30kV)。改进后的显示系统及GUI的设计使得超高分辨的显微分析变得简单易行。
2. 保证分辨率为0.4nm (30kV), 1.6nm (1kV)
3. Hitachi的专利技术ExB可以让操作者优化图像中SE和BSE信号的比例
4. 新开发的BF/DF双STEM检测器可以同时显示BF像及DF像。在DF STEM模式中还可以改变检测角度。(可选)
5. 电子光学系统的改进可以不用改变样品位置而同时进行EDS分析及形貌观察。
6. 可以使用与FIB兼容的样品杆。

原文由 jeolzxj 发表:
原文由 roadch 发表:
现在冷场发射的分辨率最高可以达到0.4nm，而且在低加速电压下冷场发射的分辨率明显高于热场发射。

你把目前市场上主流的冷场能到0.4nm的找几家给我们看看。热场非主流的也有1KV能到0.9nm的。

补充答案：

jeolzxj回复于2008/08/13

中国有几家？

sc4379回复于2008/08/20

不知道啊....

golf回复于2008/08/20

冷场主要是维护费用低. 热场的扩展性还是好很多, 分辨率也很好.
关键还是看自己的应用了.

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2008/8/4 13:32:22 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

低电压不能完全代替低真空，你的塑料样品在低电压下或多或少都会有充电放电的现象，而且看的时间越长放电越明显。买个FEI的高分辨的低真空探头Helix,就可以解决你的问题。你如果要配能谱的话最好买热场。

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hitachi-demo

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2008/8/4 14:44:22 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

楼主，这个地方从来不是做您这种调查的好地方，托太多。
现在各个厂家都有了自己的实验室，建议您带上您的样品，到各个厂家的实验室去实地考察，结果拿来一比，谁好谁不好，什么仪器更适合您，一目了然。没必要在这儿听人瞎忽悠。

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2008/8/4 17:10:20 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

申明不是采购调查，只是技术交流，
大家的意见仅供参考（我们的实验已经在进行当中）。
希望大家各抒己见，或可以探讨一下场发射电镜的发展趋势。

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xuexiren

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2008/8/6 15:02:14 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我顶一下楼主! 趁机可以学习一下场发射扫描电镜,毕竟用的不多啊.

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RoadCH

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2008/8/7 11:48:43 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

冷场发射扫描电镜，分辨率高，低加速电压性能好，适合于表面形貌观测，可以做能谱分析，但不能做WDS、CL、EBSP等分析，维护成本低。高分子有机膜材料等推荐用冷场发射，用低加速电压直接观察陶瓷、塑料等不导电样品没有任何问题。

热场发射扫描电镜分辨率相对较差，但束流大，适合于做荧光分析、EBSP等分析，维护成本高，两年一根灯丝，将近10000美元。

目前在高端冷场发射扫描电镜方面日立占了绝对的优势地位，中国的市场占有率超过80%，Hitachi S-4800国内用户众多，仅供参考。

原文由 phyleon 发表:
最近在调研场发射电镜，参考了以下型号：
Zeiss Super40VP
Hitachi S-4800
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目前只知道只有Zeiss和FEI有变压（低真空模式）且为热场，日本的两家都是冷场（据说最新的型号也有热场），四家都有低电压（减速模式）。

请相关专家给出以上几款电镜的优缺点和适用范围。或者有使用过或正在使用的用户给些参考意见。

另外我们将来观测的样品多为不导电的样品（陶瓷和塑料），请问低电压和低真空在观测样品的效果上有什么本质的不同？（低电压能否替代低真空？）

多谢！