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X射线荧光光谱仪（XRF）
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主题：【求助】能简单说说X荧光测膜厚的原理吗?

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cqianc819
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2009/3/11 11:37:38 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们公司用的是X-RF仪主要是用来分析有害物质成分的，据说可以测膜厚，但没人会用，听说还要一套膜厚标准件才行，不知是什么东东，想请高人指点指点如何测的方法。谢谢！
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ylcd
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2009/7/1 16:02:21 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 agring 发表:
我们这里用的是日本horriba（掘厂）的。厂家自带了几个标准镀层厚度的片子。

可以建曲线。

不过感觉测定这个不太靠谱，只能算附带的一个功能。
精确测定金属镀层厚度的结果还是令人怀疑。

曾经测定过一组镀金的厚度，然后与金相显微镜的结果作比较
有的准，有的不准，不晓得为啥。



用金相能测镀金的厚度？金相就100%准确？现在测量镀金厚度几乎都是使用专业的XRF镀层测厚仪，很多XRF都可以元素分析，也可以测厚，但不准确，建议要测量ROHS + 卤素的用专业的XRF一起，要测镀层厚度的用专业的XRF膜厚仪
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azuoin
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2014/4/3 16:03:03 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习了

原文由 george(george) 发表:

XRF测量金属薄膜厚度的原理是利用X射线的能量激发样品中的金属元素使它产生特征X射线荧光，通过检测器检测到荧光的强度来计算金属镀层的厚度。具有非破坏，快速简便的优点。检测的范围大约从0.01到100微米，根据元素不同会有所差异。
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