主题：测量含量为2PPB～10PPM气体中水分的方法

大家好！我是这里讨论的激光水分仪的中国代理，有什么技术问题请大家提问！

现在我简单介绍一下这种技术目前能够应用的气体如下，其实列出来的是我们目前遇到客户的要求，由于这种技术是使用光谱吸收原理的，所以，能否测量被测气体取决于被测气体和H2O之间的图谱是否相互干扰，理论上只要不干扰，就可以测量。由于这种特性，所以我们现在不单单是有微量水分仪，还有用这种原理来测量其他微量杂质气体的。
六氟化硫（SF6）、
三氟化氮（NF3）、
四氟化碳（CF4）、
八氟环丁烷（C4F8）、
一氧化碳（CO）、
二氧化碳（CO2）、
氯化氢（HCl）、
溴化氢（HBr)、
氨（NH3）、
砷烷（AsH3）、
磷烷（PH3）、
硅烷（SiH4）、
氮气（N2）、
氧气（O2）、
氢气（H2）、
氦气（He）
氩气（Ar)、
氪气（Kr）


擦边球！下次注意！

哈哈quest-tech你也来了，你不妨把些技术方面再补充补充。不过不要在技术版面上做广告，可以在在线仪表的采购区帖广告，不然斑竹会给你删帖的。

原文由 hzhhqt 发表:
哈哈quest-tech你也来了，你不妨把些技术方面再补充补充。不过不要在技术版面上做广告，可以在在线仪表的采购区帖广告，不然斑竹会给你删帖的。

如果存心做广告，发点实用的原理、手册类的。样本宣传就是广告。我不删，也有人删的。我不站短通知啦！我的回贴放一周，一周后清理！！

原文由 quest-tech 发表:
大家好！我是这里讨论的激光水分仪的中国代理，有什么技术问题请大家提问！

现在我简单介绍一下这种技术目前能够应用的气体如下，其实列出来的是我们目前遇到客户的要求，由于这种技术是使用光谱吸收原理的，所以，能否测量被测气体取决于被测气体和H2O之间的图谱是否相互干扰，理论上只要不干扰，就可以测量。由于这种特性，所以我们现在不单单是有微量水分仪，还有用这种原理来测量其他微量杂质气体的。
六氟化硫（SF6）、
三氟化氮（NF3）、
四氟化碳（CF4）、
八氟环丁烷（C4F8）、
一氧化碳（CO）、
二氧化碳（CO2）、
氯化氢（HCl）、
溴化氢（HBr)、
氨（NH3）、
砷烷（AsH3）、
磷烷（PH3）、
硅烷（SiH4）、
氮气（N2）、
氧气（O2）、
氢气（H2）、
氦气（He）
氩气（Ar)、
氪气（Kr）


擦边球！下次注意！

激光光谱我没玩过，发几个完整手册或原理详述及测量过程上来！

这适合与电子用试剂的检测吧。一般到ppm就可以了。

Cavity Ring Down Spectroscopy (CRDS)技术是一个被世界认可的测量手段，最初它是被用来测量镜面反射率的，但是后来普林斯顿大学将这种技术转化到测量水分浓度上，并且成功的商业化，利用这种核心技术开发出了一系列测量仪器。由于其精度极高，所以被广泛的应用于半导体行业，电子气体的监测等等，工业级的很少用到这么高级别的，因为工业级的要求通常在1ppm以上。至于工业级测量水分的技术主要分为：
镜面法
电阻法
电容法
电解法
上述几种中镜面法和电解法属于绝对测量法，被定为国标推荐方法。其他的电阻法和电容法由于测量时候不够准确，一般只作为定性判断使用。但是镜面法通常到1ppm时就已经到达极限，我经常看到有些产品会在自己的产品资料中写可以测量露点20到-120度，其实全是广告，他们的仪器能否溯源到NIST（美国国家标准局）？我见到镜面法最多测到-70℃。当初我们有个客户要出一个检验报告，他们的水分仪是美国Meeco的AV+(35ppb-20ppm)，五氧化二磷电解原理的，当初到国家计量院测量，选定了3个点，一个-60℃（20ppm）一个-70℃（3ppm）附近，一个中间，结果线性非常重合，由于计量院的镜面式露点仪MBW的测量下限LDL就是-70℃，所以没办法测量更低，全部过程MBW达到平衡用了4个多小时，但是Meeco用了不到20分钟。

激光测量水分是一种最新的科技，它2001年商品化，4年前我接触到这个科技就一直坚信这种科技会取代很多其他测量水分的手段，但是它的成本一直比较高。
这种测量方法有几的系列的产品，其量程有很几个级别：
0.2ppb-5ppm (MTO系列)
0.4ppb-20ppm (Halo+系列)
2ppb-20ppm (Halo系列)

另外，这种原理现在除了能够测量微量H2O之外，现在还能测量微量O2,CH4,SiH4,HF,HCl和很多其他的微量气体杂质。


我希望更多的人能够了解它的原理，不光是因为个人的原因，还有就是我国现在的气体行业在高纯气体的水分测量这个领域是个空白，很多工程师还不知道如何去选定符合自己的仪器，往往还走过一段弯路，每次遇到这种客户的时候我们彼此总是有些遗憾，遗憾没有早点认识。另外就是每每听到我们客户对这种产品的肯定的时候会让我很开心，并且越来越自信。

我很想将相关的产品介绍上传，但是初来乍到，不懂会不会被删掉，如果有人感兴趣，跟贴联系吧！

原文由 quest-tech 发表:
Cavity Ring Down Spectroscopy (CRDS)技术是一个被世界认可的测量手段，最初它是被用来测量镜面反射率的，但是后来普林斯顿大学将这种技术转化到测量水分浓度上，并且成功的商业化，利用这种核心技术开发出了一系列测量仪器。由于其精度极高，所以被广泛的应用于半导体行业，电子气体的监测等等，工业级的很少用到这么高级别的，因为工业级的要求通常在1ppm以上。至于工业级测量水分的技术主要分为：
镜面法
电阻法
电容法
电解法
上述几种中镜面法和电解法属于绝对测量法，被定为国标推荐方法。其他的电阻法和电容法由于测量时候不够准确，一般只作为定性判断使用。但是镜面法通常到1ppm时就已经到达极限，我经常看到有些产品会在自己的产品资料中写可以测量露点20到-120度，其实全是广告，他们的仪器能否溯源到NIST（美国国家标准局）？我见到镜面法最多测到-70℃。当初我们有个客户要出一个检验报告，他们的水分仪是美国Meeco的AV+(35ppb-20ppm)，五氧化二磷电解原理的，当初到国家计量院测量，选定了3个点，一个-60℃（20ppm）一个-70℃（3ppm）附近，一个中间，结果线性非常重合，由于计量院的镜面式露点仪MBW的测量下限LDL就是-70℃，所以没办法测量更低，全部过程MBW达到平衡用了4个多小时，但是Meeco用了不到20分钟。

激光测量水分是一种最新的科技，它2001年商品化，4年前我接触到这个科技就一直坚信这种科技会取代很多其他测量水分的手段，但是它的成本一直比较高。
这种测量方法有几的系列的产品，其量程有很几个级别：
0.2ppb-5ppm (MTO系列)
0.4ppb-20ppm (Halo+系列)
2ppb-20ppm (Halo系列)

另外，这种原理现在除了能够测量微量H2O之外，现在还能测量微量O2,CH4,SiH4,HF,HCl和很多其他的微量气体杂质。


我希望更多的人能够了解它的原理，不光是因为个人的原因，还有就是我国现在的气体行业在高纯气体的水分测量这个领域是个空白，很多工程师还不知道如何去选定符合自己的仪器，往往还走过一段弯路，每次遇到这种客户的时候我们彼此总是有些遗憾，遗憾没有早点认识。另外就是每每听到我们客户对这种产品的肯定的时候会让我很开心，并且越来越自信。

我很想将相关的产品介绍上传，但是初来乍到，不懂会不会被删掉，如果有人感兴趣，跟贴联系吧！

看起来不错！！！

原文由 quest-tech 发表:
Cavity Ring Down Spectroscopy (CRDS)技术是一个被世界认可的测量手段，最初它是被用来测量镜面反射率的，但是后来普林斯顿大学将这种技术转化到测量水分浓度上，并且成功的商业化，利用这种核心技术开发出了一系列测量仪器。由于其精度极高，所以被广泛的应用于半导体行业，电子气体的监测等等，工业级的很少用到这么高级别的，因为工业级的要求通常在1ppm以上。至于工业级测量水分的技术主要分为：
镜面法
电阻法
电容法
电解法
上述几种中镜面法和电解法属于绝对测量法，被定为国标推荐方法。其他的电阻法和电容法由于测量时候不够准确，一般只作为定性判断使用。但是镜面法通常到1ppm时就已经到达极限，我经常看到有些产品会在自己的产品资料中写可以测量露点20到-120度，其实全是广告，他们的仪器能否溯源到NIST（美国国家标准局）？我见到镜面法最多测到-70℃。当初我们有个客户要出一个检验报告，他们的水分仪是美国Meeco的AV+(35ppb-20ppm)，五氧化二磷电解原理的，当初到国家计量院测量，选定了3个点，一个-60℃（20ppm）一个-70℃（3ppm）附近，一个中间，结果线性非常重合，由于计量院的镜面式露点仪MBW的测量下限LDL就是-70℃，所以没办法测量更低，全部过程MBW达到平衡用了4个多小时，但是Meeco用了不到20分钟。

激光测量水分是一种最新的科技，它2001年商品化，4年前我接触到这个科技就一直坚信这种科技会取代很多其他测量水分的手段，但是它的成本一直比较高。
这种测量方法有几的系列的产品，其量程有很几个级别：
0.2ppb-5ppm (MTO系列)
0.4ppb-20ppm (Halo+系列)
2ppb-20ppm (Halo系列)

另外，这种原理现在除了能够测量微量H2O之外，现在还能测量微量O2,CH4,SiH4,HF,HCl和很多其他的微量气体杂质。


我希望更多的人能够了解它的原理，不光是因为个人的原因，还有就是我国现在的气体行业在高纯气体的水分测量这个领域是个空白，很多工程师还不知道如何去选定符合自己的仪器，往往还走过一段弯路，每次遇到这种客户的时候我们彼此总是有些遗憾，遗憾没有早点认识。另外就是每每听到我们客户对这种产品的肯定的时候会让我很开心，并且越来越自信。

我很想将相关的产品介绍上传，但是初来乍到，不懂会不会被删掉，如果有人感兴趣，跟贴联系吧！

图片不错，广告迹象较明，我不赞成这样介绍，好在楼主已经开讲，你就当注释吧，我不删！旧话重提，发实用操作手册、维护手册、测量原理和过程、图解操作手册不算违规。使用注意事项和故障判断和处理也行。切忌样本宣传册！！！
再多说两句，也给广大仪器厂商提个醒：广告一万遍，不抵教会别人理解和使用你的仪器。

谢谢斑竹，发一份以前我给客户翻译的中文操作手册，供大家交流。由于测量的下限很低，所以就对管路要求很严格，建议选用电抛光(EP)管，并且管路中的阀门和减压器也均选用电抛光(EP)级的，为什么都选用电抛光(EP)呢？这是因为气体中的水分本身的特性很具有附着性，这样普通管路很难吹扫，或者吹扫到PPB级的时候需要花费很长时间。就好比一件衣服放到水里马上就湿，但是想让一件湿衣服变干却要花费很长时间一样，这是水分特性决定的。我有一些客户就是以前很少接触过高纯气体，在安装调试仪器的时候，我们建议选用的一些管路他们不采用，就用普通的不锈钢管和阀门件，结果仪器总是达不到要求，最后他们从日本客户那里借用了一套管路，一次就通过。所以管路在到这个级别的时候非常重要。
另外，在进入仪器的接口处加装0.003um的颗粒过滤器，这样可以避免气体中的颗粒物污染仪器内部光学元件，因为，如果仪器内部受到颗粒物污染的话只能发送到美国原厂进行内部清洗，这样运费和事件往往不能被用户接受。 我们的一个客户林德就遇到过。这些都是经验教训。

补上附件！
HALO-H2O

原文由 quest-tech 发表:
谢谢斑竹，发一份以前我给客户翻译的中文操作手册，供大家交流。由于测量的下限很低，所以就对管路要求很严格，建议选用电抛光(EP)管，并且管路中的阀门和减压器也均选用电抛光(EP)级的，为什么都选用电抛光(EP)呢？这是因为气体中的水分本身的特性很具有附着性，这样普通管路很难吹扫，或者吹扫到PPB级的时候需要花费很长时间。就好比一件衣服放到水里马上就湿，但是想让一件湿衣服变干却要花费很长时间一样，这是水分特性决定的。我有一些客户就是以前很少接触过高纯气体，在安装调试仪器的时候，我们建议选用的一些管路他们不采用，就用普通的不锈钢管和阀门件，结果仪器总是达不到要求，最后他们从日本客户那里借用了一套管路，一次就通过。所以管路在到这个级别的时候非常重要。
另外，在进入仪器的接口处加装0.003um的颗粒过滤器，这样可以避免气体中的颗粒物污染仪器内部光学元件，因为，如果仪器内部受到颗粒物污染的话只能发送到美国原厂进行内部清洗，这样运费和事件往往不能被用户接受。 我们的一个客户林德就遇到过。这些都是经验教训。

很高兴与你交流，手册没发上来。抛光管我已想到，如果不用此管，做如此低PPB含量无疑是天方夜谭，这样说来，管路、接头、阀门组件就应全部采用此要求。气体与材质的附着性，应该是低含量的一大影响因素。
至于说到颗粒过滤器，这么低，也就意味着产生的气阻也会很大，前段压力会很大，是否有稳压阀。后段气流大，泄压快，测量时流速波动大，若无后段阻尼管或缓冲管，测量数值的稳定如何保证?通常光谱分析对流速要求较高。难道激光例外。个人观点。