主题:【已应助】【求助】再求晶体硅片的相关分析标准!!!

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liutw30
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再次苦求以下硅的测量方法,拜托了!多谢!!!
  GB/T 1557-1989 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
  GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
  GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
  GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法
  GB/T 4060-1983 硅多晶真空区熔基硼检验方法
  GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
  GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
  GB/T 4326-1984  非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法
  GB/T 6616-1995 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定非接触涡流法
  GB/T 6617-1995 硅片电阻率测定扩展电阻探针法
  GB/T 6618-1995 硅片厚度和总厚度变化测试方法
  GB/T 6619-1995 硅片弯曲度测试方法
  GB/T 6620-1995 硅片翘曲度非接触式测试方法
  GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
  GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法
  GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法
  GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向x射线测量方法
  GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
  GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
  GB/T 1414l-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法
  GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法
  GB/T 14143-1993 300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
  GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
  GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法
  GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定汞探针电容一电压法
  GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
  GB/T 14849.1-1993 工业硅化学分析方法 1,10-二氮杂菲分光光度法测定铁量
  GB/T 14849.2-1993 工业硅化学分析方法 铬天青-S分光光度法测定铝量
  GB/T 14849.3-1993 工业硅化学分析方法 钙量的测定
  GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法
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Phelps
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LZ心太黑,一下子要这么多标准
建议你买《国内外半导体材料标准汇编》,中国标准出版社
youjian000
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