目前探针有三家生产两种设计风格,cameca和JEOL一个设计风格,岛津一个设计风格。根本在于物镜设计不同,由此带来一系列不同。
岛津采用平台式物镜设计,下方空间很小,因此谱仪和光栏等设置只能放在腔体内,带来最大的优点是出射角大;但是也带来一系列缺点,由于需要把波谱放在腔体内,整个腔体做的很大,因此抽真空比较慢;同时光栏只能用固定式,因为人手不能进去调节(用过扫描电镜的都知道,可动光栏好用),因此岛津图像也差。同时波谱仪的晶体不能随时随地翻转,导致测试速度很慢。扩散泵,容易污染,导致轻元素测量不准确。软件操作不方便
JEOL和cameca采用小物镜,物镜下方空间很大,很多探测装置可以放在物镜下方。JEOL的采用大小两种罗兰圆设计,兼顾灵敏度和分辨率,晶体可以随时随地翻转,测试速度快,容易出数据。电子光学系统好,图像质量好,很多实验室当扫描电镜来用。软件好用。分子泵,无污染。
总体来讲,除了出射角外,JEOL的探针各项指标性能完胜岛津,国内很多牛逼的探针实验室都选择日本电子的。
原文由 czy7803(czy7803) 发表:
这个版上有多少是使用电子探针的?大家讨论一下JEOL的JXA-8100和岛津的EPMA-1600之间的比较吧?当然,如果您对Camaca的电子探针也比较熟悉,也欢迎多多介绍啊!