主题:【FAQ】问个SEM的问题--形貌像和组成相的剥离

浏览0 回复18 电梯直达
shxie
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原文由 renxin 发表:
再請ZEMB朋友打住。
兩個概念性錯誤
1﹐低加速電壓(100V)工作是場發射電鏡的一大優勢﹐原理是由於電子光學系統使用了雙鏡頭系統﹐即電磁透鏡和靜電透鏡被同時使用﹐INLENS是適合這種系統的檢測終端﹐不是低壓工作的根本原因。
2﹐INLENS只能看工作距離小於3MM的樣本﹐這是由於雙鏡頭系統的使用﹐這不是優勢﹐而是劣勢。

大侠哪里高就阿?以后要多讨教了。
renxin
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你講的INLENS只有ZEISS才有精確地講是完全正確的﹐因為INLENS是一個商標﹐版權歸ZEISS所有﹐FEI的同類產品叫THROUGH LENS。
這個檢測器被嵌在鏡筒當中﹐具體位置在多孔光圈和鏡筒封閉閥門之間﹐這個設計並不是什麼精彩的設計﹐而是不得以而為之﹐因為只有這樣才能看到純SE1的圖像﹐任何有檢測角度的檢測器是不可能做到這點的。把它放在樣本室裡也不行﹐因為它會同時看到SE2﹐SE3﹐SE4和SE5﹐還會收到高能BSD的不停干擾。
ZEMB朋友看到的環形只是INLENS的光電倍增管部份﹐真正的檢測閃爍體和光導管在鏡筒裡面。

shxie
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renxin
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新手级: 新兵
SE1是入射一次電子直接從樣本激發出的二次電子﹐SE2-5是在不同條件下被間接激發出的二次電子﹐不一定是從樣本出來的﹐有可能是從樣本室內壁或者物鏡极靴激發出來的。
shxie
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多谢,我需要去找本书看看来详细了解一些基础知识才好,惭愧。
chenkunshun
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shxie
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原文由 shxie 发表:
多谢,我需要去找本书看看来详细了解一些基础知识才好,惭愧。

今天看到了一篇2003年的文章,针对LEO的电镜讲的,题目是二次电子像质量,是华南理工大学写的。2003年电子显微学报22-6上。讲的算是很清晰了。
wbslandy
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